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紫外分光光度计UV针对硅晶片表面光阻薄膜厚度测量

点击次数:106 发布时间:2022/2/12 20:01:48

 很多方法都可以用来测量薄膜的厚度。这些方法中,岛津紫外可见分光光度计提供了简便的、对薄膜厚度不造成损害的测量方式。对硅片上两个不同厚度的光阻层(0.5 µm, 3.0 µm)进行测量。结果发现,薄膜越薄,波的周期越长,反之亦然。

111.png

允许对所有种类的薄膜进行简易的并且不造成薄膜厚度损害的测量。从薄膜的后表面反射出的光相互交叉形成一个干涉图。在一定波长范围内,薄膜的厚度可通过光谱上波的数量计算得到(在物质的折射率已知的情况下)。


分光光度计开始研发的目的是为了对液体样品进行吸光度检测。近些年,由于快速增加的固体反射率和吸光度测定要求,高精度高能量的分光光度计在市场上大受欢迎,包括对半导体、胶片、玻璃和其他吸附性固体材料。同时,生命科学域中也需要高通量的分析仪对超痕量样品进行高速及高敏感度分析。药品及制药工业中则需要分析仪具备稳定性,可追踪性以及符合GXP和FDA 21 CFR Part11的合规性检测功能。因为,分光光度计软件必定支持这些功能。岛津研发了适用于此要求的硬件及软件。

 

上海斯迈欧经销代理众多进口品牌仪器(珀金埃尔默、赛默飞、岛津、安捷伦、沃特世、AB、耶拿、日立等),主营产品有气相色谱、液相色谱、原子吸收光谱仪、紫外分光光度计、气质联用仪、液质联用仪;斯迈欧团队成员均来自一线品牌仪器公司,具备丰富的仪器行业从业经历。公司站在用户角度,以企业“节约成本,提高质量,科学管理”为导向,担负着各行业“质量求发展”的使命,更好地为科研单位、企业生产、院校教学、第三方检测等域而服务。斯迈欧公司自成立以来,始终秉承“诚信为根,服务为本”的经营理念,以敬业、创新、务实、拼搏的工作热忱,本着“精益求精”的服务原则,为我们的客户提供精密、科技、科学的计量检测仪器。 

 

 

原创作者:上海斯迈欧分析仪器有限公司

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