FlexSEM 1000日立扫描电子显微镜采用新设计的电子光学系统和高可靠性、高灵敏度的探测器，分辨率高达4nm。FlexSEM 1000有多种自动化功能，操作简便，即便是初次操作者也能快速拍出高质量图像。另外，新开发的导航功能「SEM MAP」可使用各种光学图片或电镜照片进行导航，一键就快速精准地切换至感兴趣的高倍率视野。

FlexSEM 1000日立扫描电子显微镜特点：

a. 通过高灵敏度二次电子探测器，背散射探测器，低真空探测器（UVD^*2），实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

b. 操作简捷，即使新手也能拍出高质量的图片

c. 新开发的导航功能「SEM MAP」，便于快速锁定视野

d. 大窗口（30 mm²）SDD能谱系统，便于快速分析元素成分^*2

*1 设置在桌面时，分离主机和电源箱

*2  选配