高纯电子化学品研究过程中需要使用大量工艺水、洗涤水、循环水，水质对产品质量的影响不容忽视。由于高纯电子化学品对杂质要求为严格，所使用的超纯水须绝对达到国标水标准，即无离子、无可溶性有机物、无菌、微粒达标、电阻率达到18. 2MΩcm。我国于1997年制定了电子行业用超纯水国家标准GB / T11446. 121997，分为两，水相当于美国半导体行业Ⅱ纯水标准。

如果试验过程中误操作引入不洁净的水，如洗涤不干净，或由于循环水因微小焊缝渗漏，致使产品 Ca、M g、K、N a等离子大大升高，试验结果和有效性将大打折扣。与此同时，在清洗试验设备 器皿时也要有套严格的清洗制度，洁净用具需上机检测洁净度，尽可能避免引入杂质和杂质富集而影响终产品质量，因此研发过程中必须十分重视超纯水质的问题，配备超纯水设备。