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高低温晶圆测试真空探针台
点击次数：1721发布时间：2020/4/14 16:03:52
更新日期：2022/9/29 14:31:21
所 在 地：中国大陆
产品型号：
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详细内容
- 产品介绍 产品参数 －－>
产品特性
1. 可进行真空环境下的高低温测试（4.2K-450K）
2. 防辐射屏设计，样品温度均匀性和稳定性更好
3. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
4. 探针热沉设计
5.可升级自动流量控制
6. 可升级加载磁场
7. 支持光谱波长/光功率特性测试
8. 器件的高频特性（支持67GHz频率）
9. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱波长测试
VCSEL/LD/LED/PD的的LIV/CV特性测试
主要技术指标
型号 LSO-WPS50-TEC LSO-WPS100-TEC LSO-WPS50C-TEC 外形 900mm长* 900mm宽* 530mm高 1100mm长* 1100mm宽* 530mm高 1100mm长* 1100mm宽* 1030mm高 重量 约170公斤 约190公斤 约290公斤 电力需求 AC220V, 50~60Hz 样品台 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸 样品固定方式 真空导热硅脂/弹簧压片 样品台移动 固定的样品台 真空度 10^-10torr真空 光学特性 显微镜行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸 放大倍数 变焦：7:1分辨率4μm（放大倍数216X）或者选用金像显微镜（20X-1000X） 真空腔观察窗尺寸 2inch 4inch 2inch CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） 温度控制 制冷方式 液氮/液氦 制冷压缩机 控制方式 开循环手动/自动冷媒流量控制 闭循环自动控制 控温范围 77~450K/4.2K~450K 4.2K~450K 控温分辨率 0.001k 温度稳定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K 373K ±0.08K 473K ±0.1K 823K ±0.2K（可选） 973K ±1.0K（可选） 常温到8K冷却时间 90min 150min 8K到常温升温时间 90min 90min 常温开始的升温时间 100℃ 150℃ 200 ℃ 30min 50min 80min 加热电源 LVDC低压直流 传感器 硅二极管 传感器数量 样品台，防辐射屏，探针臂各一个 功率 50W/100W/500W/1000W 点针规格 探针数量 2个/4个/6个 探针调节 真空波纹管外部调节，手动控制 点针精度 10微米/2微米/0.7微米 点针行程 25mm-25mm-25mm 漏电精度 10pA/100fA 接口形式 三轴/SMA/K/光纤接口 应用方向 高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等
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