衍射光学器件 DOEDiffractive beam shapers 光束整形器

Jenoptik 可提供各种高性能整形器，包括圆形方形和线型平顶以及客户所需的任意复杂分布。这些光束整形器为单模（TEM00）输入光束设计。我们同时也提供适用于多模激光的散射器件和光束均化器。产品覆盖深紫外（DUV）到长波红外（LWIR）的波长范围。

产品优势：

• DUV 193纳米到  IR 波段
• 线宽<20 um
• 衍射效率>90%
• 均匀性<5%
• 任意光束形状整形

应用：

• 激光加工                       
• PCB
• 光学传感
• 太阳能电池
• 锂电池
• 光刻和全息
• 半导体
• OLED

案列：OLED面板激光剥离

方形整形器可以在OLED面板激光剥离应用中实现光斑均匀化并提高加工效果。

Diffractive Beam Splitter 光束分束器

Jenoptik 衍射分束器可有效地将入射激光分成多束分离的光束，输出光束的角间距，强度比以及分布的对称性可以按客户需要设计，输出光束可保持入射光束的发散角、直径和偏振态不变。

产品优势：

• 任意数目分束
• 任意对称图案
• 极高的激光损伤阈值
• 衍射效率>90%
• 可实现离轴设计，杂散光<0.2%

应用：

• 光学传感器
• 材料加工（半导体，太阳能）
• 激光雷达

应用案例：

1.     分束器可使输入激光在多重通道获得更好的能量分布，从而提高了效率和性能，这使得我们的高精度衍射分束器非常适合激光雷达，分色、外科手术以及计量学领域等多种应用。

2.     半导体Si 划片采用光束分束器可以减少热效应并提高切割效率