产品展示
KLA-Tencor INM100显微镜
点击次数：269发布时间：2019/10/23 11:02:31
更新日期：2019/10/23 11:02:31
所 在 地：
产品型号：INM100
相关标签：
优质供应
详细内容
應用：
◆多种成像方式（亮场、暗场、DIC及365nm UV成像等）可用于不同材料特性的分析；
◆样片尺寸可达8英寸，分辨率达0.13um；
◆的检测方式可用于硅片、光罩和其他材料的失效分析及工艺控制。
技术参数：
半自动化的光学检测设备，被广泛应用于检测硅片、光罩、MEMS以及相关产品。采用了高质量的Leica 镜头，配激光自动聚焦系统。
主要特点：
◆具紫外光成像功能，成像清晰，分辨率高；
◆模组自动化程度高；
◆软件操作简单易学；
◆机型小巧，产能高。
