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硅片表面有机污染物分析装置
点击次数：348发布时间：2010/9/12 20:55:10
更新日期：2010/9/12 20:55:10
所 在 地：
产品型号：SWA-256M/256
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详细内容
● 可对完整的硅片测量（直径30cm）。
● 使用毛细管柱分析，可以此性测量多种有机化合物。
● 可检测pg/cm2（硅片表面）的微量有机化合物。
● 符合国家标准GBT 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
●符合标准SEMI MF1982-99，SEMI MF1982-1103
