Energetiq激光驱动白光光源LDLS EQ-99X是一款高亮度，高稳定、长寿命宽光谱光源，采用革命性的光源技术－－－－LDLS™激光驱动光源技术，使用高功率连续激光直接聚焦氙灯内的氙离子加热至非常高的的温度，从而发出高效的宽频谱光。具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命，紫外功率高等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括深紫外线（DUV）, 并覆盖从可见光到近红外光区（NIR），波长范围从 170nm到2100nm 以上。

产品特点：

连续激光等离子体发光，100-200μm光斑

整个光谱具有高亮度（170-2100nm）

可取代氘灯，卤素灯，氙灯等多种灯

非常好的空间和功率稳定性

超净间装配提高稳定性和寿命

无电极长寿命运行，降低运行成本

应用：

紫外可见红外光谱，显微，单色仪光源

半导体厚度测量，形貌测量

光学元件测量

环境，气象监测，气相测量

材料表征，成像/照明

长寿命灯应用

                                                                             工作原理图