硅片厚度测量仪SIT-200

硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。
硅片厚度测量仪（SIT-200）由精确可调激光光源，聚焦传感器，光学接收器组成。波长扫描光聚焦照射到目标上，由目标表面和背面反射光干涉形成干涉图案，经过聚焦传感器后由光学探测器进行检测。

产品特点：

l  全光学，非接触硅片厚度测试

l  高动态范围测量粗糙表面

l  湿法刻蚀过程中实时测量

高灵敏度         高精度           快速测量        远程控制

                          结构示意图

SIT-200                                 

产品参数：