产品介绍：

光学测试仪HION用于光学表面测试。该技术基于 Shack-Hartmann 方法。激光束从被测光学表面反射并进入 Shack-Hartmann 波前传感器进行进一步处理。

光学测试仪HION用于光学表面测试。该技术基于 Shack-Hartmann 方法。激光束从被测光学表面反射并进入 Shack-Hartmann 波前传感器进行进一步处理。

产品规格：

1. 光学孔径：10 至 50 mm（可选300 mm）

2. 测量时间：10 ms

3. 测量精度：32 nm (P-V)

4. 测量偏差：5 µm（P-V）

5. 光源：二极管激光器

6. 光源波长：0.65 µm

7. CCD/CMOS相机

结果输出：

1. 峰-谷误差P-V，均方根（RMS）

2. 将像差展开为Seidel 和 Zernike 多项式（倾斜、散焦、像散等）

3. 2D 和 3D 波前，干涉条纹

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