DMD无掩膜光刻机
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详细内容
DMD无掩膜光刻机
姓名:郭工(Barry)
电话:186 2116 1670(微信同号)
DMD无掩膜光刻机产品简介:
DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体,生物技术和微电子等域光刻表面微纳图案。
DMD无掩膜光刻机产品特点:
兼容i、h、g线光刻胶
SmartPrint-UV配备了385 nm LED源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500系列
DMD无掩膜光刻机适用范围:
我们的物镜范围经过精心选择,具有较长的工作距离(高达3厘米),使SP-UV成为一种非接触式技术,因此兼容非标准基材(非平的,灵活的,厚的)。
可调直写范围和分辨率——用户可获得四种不同的直写分辨率 优直写分辨率1.5um
兼容任何尺寸的样品,大5平方英寸 对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用
体积小,性价比高
DMD无掩膜光刻机应用域:
光器件 微流控 微电子
DMD无掩膜光刻机参数规格: