空气轴承位移平台

可根据客户要求定制不同类型的位移平台

LT系列位移平台采用经过特殊设计的空气轴承，该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比，采用气体为润滑剂，因此所有运动都是无接触的，因此在整个使用寿命之内，设备的性能保持不变，并且无需进行特殊维护。此外位移平台采用直线电机直接驱动，无须螺杆或齿轮进行传动实现了非常平滑的无干扰的高精度的运动。通过使用天然大理石为平移台移动的桌面，可以实现非常高的重复定位精度。从而使位移平台拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。

上海昊量光电设备有限公司推出的空气轴承位移平台可提供从200mm-1500mm不同行程的平台,在可提供大行程的同时，精度可达到300nm，平移台拥有优异的分辨率，重复精度可达到100nm。

此外提供高精度的复杂运动和定位方案：

提供不同应用中需要的定位平台、控制器和相关软件

?整体解决方案

 ?定制化解决方案 

?复杂的多轴与并联运动系统 

?超精密空气与机械轴承

?软件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……

产品特点：

l   优异的重复精度

l   超大行程

l   采用空气轴承，无需维护

l   可按客户要求进行定制

主要应用

l   高性能扫描

l   光学检测系统

l   超精密研磨和切削

l   光伏系统

l   医疗系统

l   同步辐射或X射线

l   激光加工

l   半导体行业

l   晶体处理

产品参数：