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上海昊量光电设备有限公司 主营产品:空间光调制器、声光调制器、电光调制器、光弹调制器、半导体 /固体激光器、高光谱成像系统、可调谐激光器、光纤激光器、高功率光纤、布拉格光栅、光束质量分析仪、高速相机等,涉及领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究多种领域等。

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压电亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号: 原产地:中国大陆 发布时间:2019/10/11 13:30:43更新时间:2024/10/28 14:30:41

产品摘要:法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动,采用柔性铰链连接,选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器,具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维(X、Z、XY及XYZ)精密压电纳米位移平台、物镜扫描仪和快速偏摆台等产品,一维位移台行程可达1500um(MAX)。支持短周期、低费用的定制服务。

产品完善度: 访问次数:1453

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详细内容

高精度亚纳米压电平移台

 

       法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动,采用柔性铰链连接,选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器,具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维(X、Z、XY及XYZ)精密压电纳米位移平台物镜扫描仪和快速偏摆台等产品,一维位移台行程可达1500um(MAX)。支持短周期、低费用的定制服务。

 

       采用硅基高精度硅基位移传感器(Si-HR 传感器)闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高线性度(0.02%)。配备16Bit高分辨率高速控制器,支持模拟/数字信号控制。被广泛应用于,超分辨显微光镊系统、原子力显微镜、体容积成像、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等领域。 受到国内外高端工业领域和科研领域的一致好评。

 

主要特点 主要应用


高分辨率:0.005nm/urad(Max)

超大行程:1500um(Max)

超低底噪:10-50pm

超高速:谐振频率7000Hz(Max)

高性能传感器:Si-HR 传感器

柔性铰链:高可靠、长寿命

紧凑设计

可用于真空环境


超分辨显微

原子力显微镜

干涉测量

精密光学

自适应光学

光束稳定/扫描

光镊

纳米刻蚀 

 

1)单轴压电平台

单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、快速反射镜

   X轴压电平台

      可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品


②Z轴压电平台


③物镜扫描台

型号

FOCHS.100

FOC

产品图片

行程(μm)

100

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.1

0.1/0.2/0.3/0.5

全行程重复精度(nm)

0.2

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪声nm

0.01

0.01/0.02/0.03/0.06

传感器

硅传感器闭环反馈


④一维快反镜

型号

AU-TT1

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(urad)

0.005/0.01

全行程重复精度(urad)

0.01/0.02

本底噪声(urad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈


2)两轴压电平台

两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转,主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜

①XY压电平台





②二维快反镜

型号

TT2.5

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重复精度(μrad)

0.01/0.02

本底噪声(μrad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈

 


3)三轴压电平台

产品图片

描述

行程

LT3是一款三维压电平台,可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器,整体厚度只有20mm,该平台很容易集成到倒置显微镜中

X-Y-Z
100μm
200μm
300μm

BIO3是一款超低剖面的三维纳米定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中

X-Y-Z
100μm
200μm
300μm

LF3是紧凑型3轴压电平台,具有66mm方孔,X轴和Y轴行程范围为100μm,200μm或300μm,Z轴行程为50μm。   建议要求小尺寸和通光孔时使用

X-Y:
100μm
200μm
300μm

Z:

50μm

LFS3是一款3轴纳米定位平台,X,Y行程为100μm,Z行程20um,通光孔径40 x 40 mm。

X-Y:

100μm
 Z:

20μm

LFHS3是一款高速三轴纳米定位台,谐振频率高于2k,通光孔径达66x66mm,可实现高速扫描,阶跃时间可达2ms

X-Y:

75μm

Z:

50μm

LTHS3是一款超薄高速三维定位平台,可配合任何倒置显微镜使用,可实现高速扫描

X-Y:
75μm

Z:

50μm

C3是一款紧凑型平台,是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品

X-Y-Z
100μm

200μm

SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围,谐振频率高达12.5kHz,当与高功率控制器一起使用时,SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此,SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计,例如原子力显微镜。

X-Y:
75μm

Z:

5μm

10μm

25μm

50μm

 

SPM3LR压电平台是三维纳米定位平台,X轴和Y轴的位移为   100μm,200μm或300μm。

Z轴部分的行程MAX可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。

因此,SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用,例如原子力显微镜。

 

X-Y:
100μm

200μm

300μm

Z:

5μm

10μm

25μm

50μm

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