压电亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)
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详细内容
法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动,采用柔性铰链连接,选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器,具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维(X、Z、XY及XYZ)精密压电纳米位移平台、物镜扫描仪和快速偏摆台等产品,一维位移台行程可达1500um(MAX)。支持短周期、低费用的定制服务。
采用硅基高精度硅基位移传感器(Si-HR 传感器)闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高线性度(0.02%)。配备16Bit高分辨率高速控制器,支持模拟/数字信号控制。被广泛应用于,超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、体容积成像、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等领域。 受到国内外高端工业领域和科研领域的一致好评。
主要特点 | 主要应用 |
高分辨率:0.005nm/urad(Max) 超大行程:1500um(Max) 超低底噪:10-50pm 超高速:谐振频率7000Hz(Max) 高性能传感器:Si-HR 传感器 柔性铰链:高可靠、长寿命 紧凑设计 可用于真空环境 |
超分辨显微 原子力显微镜 干涉测量 精密光学 光束稳定/扫描 光镊 纳米刻蚀 |
1)单轴压电平台
单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、快速反射镜。
① X轴压电平台
可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品
②Z轴压电平台
③物镜扫描台
型号 | FOCHS.100 | |
产品图片 | ||
行程(μm) | 100 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.1 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
全行程重复精度(nm) | 0.2 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪声nm | 0.01 | 0.01/0.02/0.03/0.06 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
④一维快反镜
型号 | AU-TT1 |
产品图片 | |
偏转角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(urad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度(urad) | 0.01/0.02 |
本底噪声(urad) | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
2)两轴压电平台
两轴压电平台可以提供两个维度上的平移或偏转,主要包括XY二维压电纳米位移台和二维快反镜
①XY压电平台
②二维快反镜
型号 | |
产品图片 | |
偏转角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重复精度(μrad) | 0.01/0.02 |
本底噪声(μrad) | 0.0005/0.001 |
传感器 | 硅传感器闭环反馈 |
3)三轴压电平台
产品图片 | 描述 | 行程 |
LT3是一款三维压电平台,可提供100,200或300微米的行程。平台使用硅传感器,整体厚度只有20mm,该平台很容易集成到倒置显微镜中 | X-Y-Z | |
BIO3是一款超低剖面的三维纳米定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中 | X-Y-Z | |
LF3是紧凑型3轴压电平台,具有66mm方孔,X轴和Y轴行程范围为100μm,200μm或300μm,Z轴行程为50μm。 建议要求小尺寸和通光孔时使用。 | X-Y: Z: 50μm | |
LFS3是一款3轴纳米定位平台,X,Y行程为100μm,Z行程20um,通光孔径40 x 40 mm。 | X-Y: 100μm 20μm | |
LFHS3是一款高速三轴纳米定位台,谐振频率高于2k,通光孔径达66x66mm,可实现高速扫描,阶跃时间可达2ms | X-Y: 75μm Z: 50μm | |
LTHS3是一款超薄高速三维定位平台,可配合任何倒置显微镜使用,可实现高速扫描 | X-Y: Z: 50μm | |
C3是一款紧凑型平台,是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品 | X-Y-Z 200μm | |
SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围,谐振频率高达12.5kHz,当与高功率控制器一起使用时,SPM3.5的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此,SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计,例如原子力显微镜。 | X-Y: Z: 5μm 10μm 25μm 50μm | |
SPM3LR压电平台是三维纳米定位平台,X轴和Y轴的位移为 100μm,200μm或300μm。 Z轴部分的行程MAX可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05的Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。 因此,SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用,例如原子力显微镜。
| X-Y: 200μm 300μm Z: 5μm 10μm 25μm 50μm |
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