真空束线稳定系统
多转角真空束线自动对准与激光稳定的成套解决方案
 
在加速器物理中，通常大型高功率飞秒激光系统要服务于多个实验，而由于建筑布局的约束，激光束的传输距离都很长。为了避免空气波动预防影响光束指向和轮廓，传输过程要被放置在长程真空管中。上海昊量光电针对不同的真空导光管布局提供完整的光束对准导出与稳定解决方案。
关键词：准分子激光器，极紫外激光器，光路自动对准，真空导光管，真空紫外束线稳定，真空紫外束线稳定

1.简单的长直真空导光管

导光管前的光路中两个快速反射镜M1，M3，真空管入口安装了一个AimPD探测器（由多个PD布置于管口边缘组成）。M1，M3扫描光束位置，AimPD探测光束位置，*终光束入射真空管中心。下一步，为了找到平行于真空管的方向，特别是贯穿真空管中心线的特定角度，我们要在这个中心点位置扫描光束角度。为了得到反馈信号，我们在真空管后放置一个PSD4D探测器。