纳米科学研究的至上选择

更好的精度，更准的数据

Park NX10为您带来纳米级分辨率的数据，值得您信赖。它是全球一个真正非接触式原子力显微镜，在延长探针使用寿命的同时，还能良好地保护您的样品不受针尖损坏。独立的XY扫描器平板扫描器和Z扫描器可带来无与伦比的精确度和分辨率。

更好的精度，更高的效率

随着我们创新性操作软件Park SmartScan™的投入使用, Park NX10具备了比以往更快更简单的设置和*优化的数据采集。 在Park SmartScan™的智能模式下您只需点击三下鼠标即可快速得到高质量的纳米级分辨率图像，而手动模式更是为经验丰富的研究者的需要提供自定义的工作流程所需的全部功能。

更好的进度，更佳的研究

在获得更好数据的同时又节省了宝贵的时间，您可以更加专注于创新领域研究工作。即便是*为特殊的应用， Park NX10凭借著众多的测量模式和可定制化设计满足您的所有需求。

Park NX10

凝结着*具创新的AFM技术

1.        扫描范围为50 μm x 50 μm 的2D扫描器

XY轴扫描器有对称的二维高强度压电叠堆。它可为进行精确的纳米级样品扫描，提供基本的面外高效正交运动和高响应能力。Park NX10的这种紧密刚硬的构造具备低噪声高速的伺服响应能力。

 2. 高速Z轴扫描器，扫描范围达15 μm

借助高强度压电叠堆和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴速率不低于48mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15 μm扩展至30 μm（可另选Z扫描头）。

 3. 低噪声XYZ位置传感器

行业的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

4.   驱动XY轴样品台

XY轴样品台是驱动化的，以便于将样品导航并定位到扫描区域。这种驱动台在这两个轴上的分辨率同为0.6um（使用微步）

5. 自动步进扫描

借助驱动样品台，步进扫描可编程多区域成像，以下是它的工作流程：

1.   扫描成像

2.        抬起悬臂

3.        移动驱动平台到设定位置

4.        进针

5.        重复扫描 该自动化功能可大大减少扫描过程中手动需求，从而很大程度上提高生产力。

操作方便的样品台

6.        Park NX10的独特头部设计可使用户从侧面操作样品和探针，用户在样品台上可放置的样品体积为50mm× 50mm×20mm（长×宽×高）。

7.        高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提高。

8.        结合了集成LED照明的同轴高倍显微镜

超长工作距离的定制物镜（工作距离50mm, 数值孔径0.21，分辨率1.0 μm ）带来前所未有的镜头清晰度。直视同轴设计使得用户可轻易在样品表面寻找目标区域。EL20x的长行程物镜的大尺寸CCD可为您在高视角前提下提供0.7 μm的高分辨率。

9.        滑动嵌入SLD镜头的自主固定方式

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线。

10.    垂直调节驱动的Z平台和聚焦平台

驱动Z平台和驱动聚焦平台可使悬臂检测样品表面并为用户持续提供清晰的图像。用户通过软件界面进行操控，由高精度步进电机带动，即使是透明样品或液池应用中都可简单操作。

灵活性，伸缩性高，可满足各种需求

NX系列有适合大众化的各种扫描模式，能满足您的所有研究需求。

标准成像

真正的非接触模式 AFM 

接触模式AFM

侧向力显微镜 （LFM)

相位成像

间歇式（轻敲式）AFM

电性能

导电AFM

I-V谱线

扫描开尔文探针显微镜 （SKPM/KPM)

高电压SKPM

扫描电容显微镜 （SCM)

扫描电阻显微镜 （SSRM)

扫描隧道显微镜 （STM)

扫描隧道光谱 （STS) 

时间分辨的光电流测绘 （Tr-PCM)

Magnetic Properties  磁性能

磁力显微镜 （MFM)

可调外加磁场MFM

化学性能

功能化探针的化学力显微镜

电化学显微镜(EC-STM和EC-AFM)

热性能

描热感显微镜(SThM)

光学性能

探针增强拉曼光谱 (TERS)

时间分辨的光电流测绘 （Tr-PCM)

介电/压电性能

静电力显微镜 （EFM)

动态接触式静电力显微镜（DC-EFM)

压电力显微镜 （PFM)

高电压PFM

机械性能

力调制显微镜 （FMM)

纳米压痕

纳米刻蚀

高电压纳米刻蚀

纳米操纵

压电力显微镜 （PFM)

力测量

力－距离（F-D)光谱

力－体积成像

热噪声法标定弹性系数

1.高样品   1.5 μm台阶高度

扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

2.平样品 蓝宝石晶圆的原子台阶

0.3nm台阶高度，扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

3.硬样品 钨膜

扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

张图，

扫描第15张图之后

4. 软样品 胶原原纤维

扫描模式：非接触模式，Z位置传感器形貌图

形貌图，相图

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Park NX10 SICM 模块

Park NX10 的新硬件模块有可以扫描离子电导显微镜的功能。

XY扫描器

10 μm x 10 μm XY 扫描器

50 μm x 50 μm XY 扫描器

100 μm x 100 μm XY 扫描器

Z扫描头

15 μm Z 扫描头

30 μm Z 扫描头

光学变焦从侧面进入

控温台

冷热台(0 ~180 oC)

250 oC 加热台

600 oC 加热台

液体池

通用型液池

电化学池

开放式液池

专门为液体环境成像设计

耐常见缓冲液及弱酸碱腐蚀

在液体环境下实现接触和非接触成像

夹式芯片载体

可用于未装载悬臂

可用于导电式AFM和EFM的针尖偏压功能

针尖偏压范围：-10V-10V

磁场发生器

施加外部磁场，平行于样品表面方向

可调磁场强度

强度范围：-300-300高斯

由纯铁芯和双螺线管组成

温控隔音罩

易于使用的控件-使Park NX10可以快速达到温度平衡

快速扫描-可以达到低于0.05 oC的恒温并在十秒内关闭隔音罩的隔声门。

Park NX10 规格

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围：15μm(可选 30μm)

分辨率：0.015 nm

位置探测器噪声：0.03 nm (带宽: 1 kHz)

共振频率：> 9 kHz （通常10.5 kHz ）AFM测头

SICM测头

压电叠堆的挠性结构

Z扫描范围：25 μm

位置探测器噪声：0.03 nm (带宽: 1 kHz)

XY 扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围：50 μm × 50 μm (可选 10 μm × 10 μm or 100 μm × 100 μm)

分辨率：0.05 nm

位置探测器噪声：< 0.25 nm (带宽: 1 kHz)

离面运动：< 2 nm (扫描超过40 μm)

驱动台

样品容量：开放空间为100 mm x 100 mm，厚度值为20mm

样品重量：*重500g

XY位移台行程范围：20 mm x 20 mm

Z位移台行程范围：25 mm

聚焦样品台行程范围：15 mm

影像

样品表面和悬臂的直观同轴影像

视野：480 μm × 360 μm (10倍物镜)        

CCD: 1 Mpixel (像素分辨率: 0.4 μm)        

5 Mpixel (像素分辨率: 0.2 μm)

物镜

10倍 (0.21NA) 超长工作距离镜头(1μm分辨率)

20倍 (0.42NA) 高分辨率，长工作距离镜头(0.6μm分辨率)

电子

信号处理

ADC: 18 通道

ADC通道 (64 MSPS)

24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 扫描器位置传感器

DAC:11通道

DAC通道（64MSPS））

20-bit DAC的 X, Y 和 Z 扫描器定位

数据量：4096 x 4096像素

集成功能

3通道数字锁相放大器

弹性系数校准(热方法)

数据Q 控制

连接外部信号

20个嵌入式输入/输出端口

5个TTL输出： EOF, EOL, EOP, Modulation,and AC bias

选项/模式

标准成像

实际非接触模式

接触模式

侧向摩擦力显微术 （LFM)

相位成像模式

轻敲模式

化学性能

功能化探针的化学力显微镜

电化学显微镜(EC-STM和EC-AFM)

介电／压电性能

静电力显微镜

动态接触式静电力显微镜(EFM-DC)

压电力显微镜 (PFM)

高电压PFM

力测量

力－距离（F-D)光谱

力谱成像

磁性能

磁力显微镜 （MFM)

可调MFM

热性能

扫描热显微镜(SThM)

电性能

Pinpoint 导电AFM (CP-AFM)

I-V谱线

扫描开尔文探针显微镜 (SKPM/KPM)

高电压SKPM

QuickStep扫描电容显微镜(SCM)

扫描电阻显微镜(SSRM)

扫描隧道显微镜(STM)

扫描隧道光谱(STS)

光电流测绘(PCM)  

机械性能

Pinpoint模式

力调制显微镜(FMM)

纳米压痕

纳米刻蚀

高电压纳米刻蚀

纳米操纵

软件

Park SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件

智能模式的快速设置和简易成像

手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

 XEI

 AFM数据分析软件

 独立设计——-可独立安装和分析数据

 能够生成采集数据的3D绘制

 配件

 手套箱

  磁场发生器

  温控隔音罩