缺陷分析的*佳选择

作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。

而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球*精密

的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行

业中大受赞扬。

*强大全面的分析功能

具备的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助

客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数

据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

凝聚着*具创新的AFM技术

1. 100 μm x 100 μm扫描范围的XY平板扫描器

XY平板扫描器，采用压电堆栈设计，减少传统扫描过程中XY的正交影响，具有高速的响应频率，实现精确的样品纳米级扫描。

即便是次接触原子显微镜的工程师也易于操作

ParkNX20拥有业界*为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量

的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您

可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效

分析报告。

Park NX20 可以满足科研工作者需要的多种扫描模式，并能满足您的所有研究需求。

表面粗糙度测量

  真正非接触模式

  D轻敲模式

电学性能测量

  导电AFM (ULCA和VECA)

  静电力显微镜(EFM)

  压电力显微镜（PFM）

  扫描电容显微镜(SCM)

  扫描开尔文探针显微镜 (SKPM)

  扫描电阻显微镜(SSRM)

  扫描隧道显微镜(STM)

  光电流显微镜(Tr-PCM)

机械性能测量

  力调制显微镜(FMM)

  力-距离(F-D) 曲线

  力谱成像

  侧向力显微镜（LFM）

  纳米压痕

  纳米刻蚀

 相位成像

材料性能研究

SCM快速扫描成像

PinPoint 导电原子力成像

磁力显微镜（MFM）

高级选项

定制您独有的原子力显微镜

自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量

Park 的自动化控制软件，根据你的预设程序，自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，

执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，为您节省测量时间。

倾斜样品倾角夹具，可以帮助您进行样品侧壁成像

NX20 的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。这项设计赋予了这个单位更

多的灵活性，使你可以做更多的创新研究和获得更深的见解。

  倾斜角度:10°、15°和 20°

  样品尺寸:20 mm x 20 mm

  样本厚度:2 mm

嵌入主动温度控制的隔音罩可以让您采取更精确的测量

  创新设计使系统快速达到其温度平衡。

  10分钟内使测试环境温差小于0.05℃。

  集成式主动减震台，优于老式的气动平台，减震效果更佳。

闭环控制电动位移台

  XY载台马达位移机械分辨率为1 μm，重复率为2 μm。

  Z向马达位移分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。

样品盘

  专用芯片样品盘

  真空吸附盘

  200mm晶圆盘

探针夹具

  固定扫描探针

  可进行电学性能测试

  针尖电压: -10 V ~ +10 V

XY 扫描器

  20 μm x 20 μm

  50 μm x 50 μm

  100 μm x 100 μm

Z 扫描器

  15 μm

  30 μm

精确的温度控制

  加热和冷却台(0 ~ 180oC)

  250oC加热台

  600oC加热台                                      

Park NX20 技术参数

扫描器

XY扫描器

闭环控制XY平板扫描器

扫描范围: 100 μm × 100 μm

50 μm × 50 μm

25 μm × 25 μm 

20位位置控制和24位位置传感器

Z扫描器

r 

导向强力Z扫描器

扫描范围：15 μm 

          30 μm 

20位位置控制和24位位置传感器

视场&CCD

同轴光源设计

10倍光学物镜和数码放大

光学物镜视场: 840 μm × 630 μm

CCD:5MP

光学物镜

10× (0.21 NA) 超长工作距离镜头的物镜

20× (0.42 NA) 高分辨率，长工作距离镜头的物镜

软件

专用系统控制和数据采集软件

智能扫描模式

通过外部程序控制脚本级别（选配）

AFM数据分析软件

电性能

信号处理

ADC: 18 通道

ADC通道 (64 MSPS)

24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 扫描器位置传感器

DAC:12通道

ADC通道 (64 MSPS)

20-bit DAC的 X, Y 和 Z 扫描器定位

数据量：4096 x 4096像素

集成功能

3通道数字锁相放大器

探针弹性系数校准(热方法)

数据Q控制

选项/模式

成像模式

真正非接触模式

接触模式

侧向摩擦力显微术 （LFM)

相位成像

轻敲模式

电学特性测量

扫描电容显微镜(SCM)

导电原子力显微镜

静电力显微镜 （EFM)

压电力显微镜 （PFM)

扫描开尔文探针显微镜 （SKPM/KPM)

压电力显微镜PFM

  一般特性

磁力显微镜 （MFM)

扫描热感显微镜(SThM)

力－距离（F-D)曲线

扫描隧道显微镜(STM)

力调制显微镜(FMM)

纳米压痕

纳米刻蚀

纳米操纵

选项

样品基座

据有温控性能的隔音罩

液体探手

液池

温控台

外部偏置模块

信号获取模块

运动位移平台

XY行程范围： 150 mm (200 mm选配）

Z行程范围： 25 mm

XY载台马达位移机械分辨率为1 μm，重复率为2 μm。

Z向马达位移分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。

样品基座

样品尺寸： 150 mm (200 mm 选配）

真空样品吸附

外部信号访问

20个嵌入式输入/输出端口

5个TTL输出： EOF, EOL, EOP, Modulation,and AC bias