蔡司氦离子扫描电镜ORION NanoFab可以实现、高精度的亚10纳米级的结构加工与成像，提供的集稼镓、氖、氦三种离子束为一体的成像加工平台。借助其0.5nm的成像分辨率，使得其它可在同一台作为加工仪器的同时中依然也可实现样品的高分辨率成像。电荷补偿技术令其在非不导电样品成像中更胜一筹。其高精度加工与高分辨率成像能力足够能够满足材料科学、生命科学等各个领域的研发与检测需求。

[ 产品特点 ]

1. 10nm以下的结构加工

2. 使用氦、氖惰性气体作为离子源避免镓离子注入

3. 束斑尺寸小，成像分辨率可达0.5 nm

4. 景深大

[ 应用领域 ]

1. 光子学，如光刻，表面等离子体光学

2. 材料科学，如离子束诱导沉积

3. 石油地质行业，如油气、页岩成像

4. 电子半导体行业，如失效分析、电路修补

5. 生命科学，如DNA测序