蔡司大尺寸材料显微镜Axio Imager Vario，用于大尺寸样品的显微分析和测量，如晶圆缺陷观察，玻璃内部杂质分析，珍贵文物鉴定等。由于其超大的样品空间和专业的光学质量，是实验室研究和工业生产中不可或缺的大尺寸样品分析解决方案。

[ 产品特点 ]

1. 超大的样品空间-高达254mm和横向300x300mm的样品移动空间。

2. 认证的超净室组件-符合DIN EN ISO 14644-1标准中的ISO 5 等级要求。

3. 快速自动聚焦-可实现高达12000 μm焦点捕获范围内快速聚焦。

[ 应用领域 ]

1. 晶体硅太阳电池

2. 太阳电池的丝网印刷

3. 薄膜太阳电池

4. 晶圆检测

5. 光掩膜检测

6. 面板TFT阵列检测

7. 汽车材料分析