AURIGA Compact
------以CrossBeam技术进入3D 纳米世界

超分辨的信息
借助于卡尔·蔡司的AURIGA Compact 电镜和CrossBeam技术，您可以轻松进入3D纳米世界 。AURIGA Compact在德国制造，使用精密的、可信赖的GEMINI SEM 技术，并结合了AURIGA CrossBeam 系列技术的独特优势。在低电压条件下获取优质的高分辨率图像，in-lens SE/BSE组合探测器令您的样品能实现出色的材料形貌和成分对比。由于局部电荷补偿的应用，即使是非导体和放电样品，您都能轻松观测。

通过 in-lens-SE/BSE 探头获得*多的信息
AURIGA Compact 组合了两种探测模式，以求获取*多的信息：in-lens 能量背散射探头(EsB)通过滤除多余的表面和切割面形貌信息，粹成分对比，in-lens SE-探头提供高分辨率成像和表面形貌对比。

通过局部电荷补偿消除荷电效应
局部电荷补偿保证从绝缘材料中获取信息。气体被注射到目标区域，与带电粒子碰撞而被电离，中和电子从而消除样品放电现象。借助于常规SEM成像，可获得更佳的高电压下分析结果。系统可配备所有标准探头。

GEMINI 电子光学一流的成像和分析技术
复合材料的成像需要在低电子能量的条件下能提供高分辨率和强对比度图像的电子光学系统。GEMINI和它独特的束流推进器通过减少束流能量，降低了电子透镜像差。利用*小磁泄露的物镜，您可以轻松获得磁性材料如铁磁材料或稀土的图像。采用的分析手段如高电压材料分析技术EDS及EBSD。通过能低至5mm的工作距离和提供优化电流条件和信噪比的光学设计，该系统是检测各种材料的理想装置。

原位清洁解决方案
痕量碳氢化合物会在暴露在空气中的任何表面累积下来，独特的带原位清洁的电荷补偿方案能有效的清除该污染。当持续的氧气流进入电荷补偿系统，高能电子束与氧分子碰撞，产生两个活化氧原子，从而生成高能臭氧分子。如果样品表面被碳（C）污染，那么臭氧（O3)就会与样品表面的碳(C)发生反应，形成一氧化碳 (CO) 和氧气(O2)，清洁样品表面。电荷补偿单元的全自动设置支持成像时的同步清洁。