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单晶硅行业氩气回收（氩气回收率≥95％）
根据单晶炉工作运行的工序，真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐，然后再进入到预处理设备，除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元，根据各个工艺将里面的杂质一一去除，然后使得回收气气体纯度达到所需要求，进一步循环利用。
MHYa-Ⅰ型15-1200 氩气回收装置 | |||||||
规格型号 | MHYa15-Ⅰ | MHYa30-Ⅰ | MHYa150-Ⅰ | MHYa300-Ⅰ | MHYa600-Ⅰ | MHYa1200-Ⅰ | |
处理量Nm3/h | 15 | 30 | 150 | 300 | 600 | 1200 | |
工作压力MPa | ≤0.6 | ≤0.6 | ≤0.6 | ≤0.6 | ≤0.6 | ≤0.6 | |
去除杂质 | 除氧 | ü | ü | ü | ü | ü | ü |
除氮 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
除氢 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
除碳 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
除水 | ü | ü | ü | ü | ü | ü | |
产品气 | 含湿量-露点(℃) | ≤-70 | ≤-70 | ≤-70 | ≤-70 | ≤-70 | ≤-70 |
含氧 (ppm) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | |
含氮 (ppm) | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | ≤3 | |
含氢 (ppm) | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | |
控制方式 | PLC全自动 | PLC全自动 | PLC全自动 | PLC全自动 | PLC全自动 | PLC全自动 | |
占地面积 | 20m2 | 40m2 | 60m2 | 100m2 | 200m2 | 500m2 | |
可以根据客户要求定制 | |||||||
