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推送:Panasonic Plasma Dicing 松下等离子切割设备APX300的技术原理#技术报道

点击次数:70 发布时间:2023/6/6 13:57:50

 推送:Panasonic Plasma Dicing 松下等离子切割设备APX300的技术原理#技术报道 http://www.app17.com/c149799/products/d11304129.html

Panasonic Plasma Dicing 松下等离子切割设备

Plasma Dicer APX300

 

Plasma Dicer APX300

 

松下APX300是一款为高附加值硅基芯片和小型芯片开发的等离子切割设备,与传统机械切割设备相比,具有切割效率高、wafer无损伤、wafer利用率高等特点。

 

应用域:高性能传感器/储存器、物联网等域具有微小、轻薄、易碎、需要清洁等特点的wafer切割,例如:low-k wafer(易碎)、3D/TSV芯片(轻薄)、图像传感器(清洁度要求高)、MEMS(易碎)、RFID芯片(微小)。

 

等离子切割设备的应用域

产品优势:

 

等离子切割与传统机械切割在硅片断裂形式上的不同

 

等离子切割与传统机械切割在切面形貌上更平整,且结构上无应力损伤


松下APX300是一款为高附加值硅基芯片和小型芯片开发的等离子切割设备,与传统机械切割设备相比,具有切割效率高、wafer无损伤、wafer利用率高等特点。

 

应用域:高性能传感器/储存器、物联网等域具有微小、轻薄、易碎、需要清洁等特点的wafer切割,例如:low-k wafer(易碎)、3D/TSV芯片(轻薄)、图像传感器(清洁度要求高)、MEMS(易碎)、RFID芯片(微小)。

原创作者:深圳市小蚁人科技文化发展有限公司

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