VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展，TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。新一代的VEGA给用户带了zui新的技术优势，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。

LaB6发射源

TESCAN能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

· 独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式

· 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"

· 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应

· 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束

· 镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构

· 3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于zui佳状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率zui大化，操作zui简化。

自动操作

通过一次点击就可以进行自动灯丝加热和电子枪对中。众多的自动程序减少了用户的操作时间，并提供了操作的自动导航与自动化分析。通过内置脚本语言（Python）用户可以进入软件大多数功能，包括电镜控制、样品台导航、图像采集、处理与分析。通过脚本语言用户也可以自定义软件的自动操作。

用户界面友好的软件

· 用户界面有各种语言版本

· 多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快

· 图像文件管理与报告生成

· 内置的自动系统检查

· 通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断

· 模块化软件体系结构

· 标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等

· 选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等

VEGA3 GM

VEGA3 GM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 XM

VEGA3 XM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 LM

VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜（SEM）与X-射线能谱仪（EDS）的一体化系统，其具有图像质量高，自动化程度高，操作简单，能实时快速进行元素分析等特点。另外，可变真空模式下，用户可以在自然状态下观测不导电样品。

VEGA3 SB

VEGA3 SB是一款完全由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台，VEGA系列的操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面（唯yi使用核心汉化操作软件的扫描电镜），获取图片后可以用常见的标准格式存储图像，强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。

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钨灯丝扫描电镜 VEGA

· VEGA3 GM

· VEGA3 XM

· VEGA3 LM

· VEGA3 SB - EasyProbe

· VEGA3 SB

产品列表

－－ 选择产品 －－

应用实例

更多图片

 钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 GM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

分析潜力

· GM样品室配备有5轴马达驱动样品台

· 多于20个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）

· 一流YAG闪烁器式探头

· 可选各种探头和配件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）

· 可选样品室减振方式

· 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能

VEGA3配置

GM型号适合观测大样品。


VEGA3 GMH
超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。


VEGA3 GMU
可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

配件

二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）
可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）
低真空二次电子探头
探针电流测量
压差式防碰撞报警装置
可观察样品室内部的红外线摄像头
冷台
等，各种配件可供选择

标配：

· 测量

· 图象处理

· 3维扫描

· 硬度测量

· 多图像校准

· 对象区域

· 自动关机时间

· 公差

· 编程软件

· 定位

· 投影面积

· EasySEM^TM

根据实际配置和需求

钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 XM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

分析潜力

· XM样品室配备有5轴马达驱动样品台

· 多于12个接口，优化的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）

· 一流YAG闪烁器式探头

· 可选各种探头和配件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟即可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观测不导电的样品（XMU型号）

· 可选样品室减振方式

· 3维Metrology软件提供了三维重构与3维测量功能

VEGA3配置

XM型号适合观测大样品。

VEGA3 XMH
超大样品室，高真空模式，适用于观测大型导电材料。

VEGA3 XMU
可变真空式扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

· 软件

标配：

测量

图象处理

3维扫描

硬度测量

多图像校准

对象区域

自动关机时间

公差

编程软件

定位

投影面积

EasySEMTM

根据实际配置和需求

· 

· 技术规格

· 配件

· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

· 低真空二次电子探头

· 探针电流测量

· 压差式防碰撞报警装置

· 可观察样品室内部的红外线摄像头

· 冷台

等，各种配件可供选择

· 

· 图片

· 其他

钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

分析潜力：

· LM大样品室、5轴马达驱动样品台

· 样品室有11个接口，适用于安装EDX、EBSD、EBIC等探头

· 一流YAG 闪烁体探头

· 选配包括了各种探头于可选的配件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作，几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观测不导电的样品（LMU型号）

· 可选的样品室减振方式

· 3维Metrology软件提供了三围重构与3维测量功能

VEGA3配置

VEGA3 LMH
高真空式SEM，配备有5轴马达驱动样品台，适用于观测小型导电样品。

VEGA3 LMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测非导电样品，不需要喷金。

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钨灯丝扫描电镜 VEGA

· VEGA3 SB

· VEGA3 SB - EasyProbe

· VEGA3 LM

· VEGA3 XM

· VEGA3 GM

产品列表

－－ 选择产品 －－

应用实例

更多图片

· 软件

标配：

· 测量

· 图象处理

· 3维扫描

· 硬度测量

· 多图像校准

· 对象区域

· 自动关机时间

· 公差

· 编程软件

· 定位

· 投影面积

· EasySEM^TM

选配：

根据实际配置和需求

· 

· 技术规格

· 

· 配件

标配：

· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

· 探针电流测量

· 压差式防碰撞报警装置

· 可观察样品室内部的红外线摄像头

· 冷台

· 等，各种附件可供选择

· 

· 图片

· 其他

钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜（SEM）与X-射线能谱仪（EDS）的一体化系统，其具有图像质量高，自动化程度高，操作简单，能实时快速进行元素分析等特点。另外，可变真空模式下，用户可以在自然状态下观测不导电样品。

· 概述

特点：

· SB型号样品室装有3轴马达驱动的样品台

· 一流YAG闪烁体探测器

· 样品室有10个接口可用于安装EDX、EBSD、EBIC等探测器

· 可选配其他探测器和附件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观察非导电的样品（SBU型号）

· 利用3D Metrology软件可以实现3维重构及测量功能

VEGA3 SB-Easyprobe配置

VEGA3 SBH-Easyprobe

高真空型SEM，配备有3轴马达驱动样品台，适用于观察小型导电样品。同时可完成元素分析

VEGA3 SBU-Easyprobe

可变真空型扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点，可以在不喷金的情况下利用低真空模式直接观察不导电样品。同时可完成能谱分析。

· 软件

标配：

测量

图象处理

3维扫描

硬度测量

多图像校准

对象区域

自动关机时间

公差

编程软件

定位

投影面积

EasySEMTM

选配：

根据实际配置和需求

· 

· 技术规格

· 配件

· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（0.1Z）

· 低真空二次电子探头

· 探针电流测量

· 压差式防碰撞报警装置

· 可观察样品室内部的红外线摄像头

各种配件可供选择

· 

· 图片

· 其他

钨灯丝扫描电镜 VEGA

VEGA3 SB是一款完全由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台，VEGA系列的操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面（唯yi使用核心汉化操作软件的扫描电镜），获取图片后可以用常见的标准格式存储图像，强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。

· 概述

· 软件

· 技术规格

· 配件

· 图片

· 其他

分析潜力

· SB型号样品室装有3轴马达驱动的样品台

· 一流YAG 闪烁体探测器

· 样品室有10个接口可用于安装EDX、EBSD、EBIC等探测器

· 可选配其他探测器和附件

· 涡轮分子泵和机械泵同时工作几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

· 在可变真空模式下可观察非导电的样品（SBU型号）

· 利用3 D Metrology软件可以实现3维重构及测量功能

VEGA3配置

VEGA3 SBH
高真空型SEM，配备有3轴马达驱动样品台，适用于观察小型导电样品。

VEGA3 SBU
可变真空型扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点，可以在不喷金的情况下利用低真空模式直接观察不导电样品。