Bruker  探针式表面轮廓仪（台阶仪）DektakXT

(一)、概述

布鲁克DektakXT （探针式表面轮廓仪）设计创新，实现了更高的重复性和分辨率，垂直高度重复性<5Å。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界ling xian地位长达四十年的优异表面测量技术。实现了纳米尺度的表面轮廓测量，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学域大显身手。

台阶高度重复性优于5埃（<5 Å）

· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

· 的”智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆

操作简便，高效易用

· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程

· 独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量

· 自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针

探针式轮廓仪的全球ling 导 zhe

· 性能卓越，物超所值

· 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障

(二)、历史：技术创新四十余年

过去四十年间，范围内有上万台Dektak系列产品应用于各个域，广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。它们以优质、可靠、高效等特性广受赞誉。

(三)、性能：设计完美、性能卓著

台阶仪性能优劣取决于以下三个方面：测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。DektakXT采用全新的仪器系统构造和优化的测量以及数据处理软件来实现可靠、快速和简单的样品检测，达到佳的仪器使用效果。

优异的测试重复性

l DektakXT™探针轮廓仪ling xian的设计保证了其优异的性能，测量重复性达到5埃以下。

l 使用单拱龙门式设计比之的悬臂梁设计更坚固持久不易损坏，大大降低了周围环境中声音和震动噪声对测试信号的影响。

l 布鲁克完善了仪器的智能化电子器件，提高了工作性能的稳定性，降低了温度变化对器件的影响；系统和环境噪音引起的测量误差降低到小。

单拱门设计和智能化器件联用，独特的传感器设计使得在单一平台

降低基座噪音，提高测试性能可以实现超微力和正常测试

快捷的测试&数据分析速度

l 次采用独特高速的直接驱动扫描样品台，在不牺牲分辨率和基底噪声水平的提下，大大缩短了每次扫描的间隔时间。从而在保证扫描质量和重复性的提下，将数据采集处理速度提高了40%。

l 采用具有64位数据并行处理的软件Vision64，提高了大范围3D形貌图的处理速度。

l Vision64具备有效直观的用户界面，简化了实验操作设置，可以自动完成多扫描模式，使枯燥、繁杂的实验工作变得快速简洁。