半导体材料行业具备产业规模大、细分行业多、技术门槛高、成本占比低四大特性。我司设计制造的四轴运动台用于晶圆切割方案。

结构描述：

XY轴采用十字叠层式结构，三片式结构（下轴定子组件、下轴动子组件和上轴动子组件，下轴动子组件和上轴定子组件共用一个组件）组成，优势：尽量避免因叠层引起的阿贝误差，影响整体精度性能。Y轴（下轴）采用直线导轨，直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，有效使用行程450mm，直线导轨，直线电机和光栅尺直接安装到大理石基座上，驱动动子组件用于Y方向步进运动。

X轴（上轴）采用精直线导轨直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，有效使用行程360mm，Y轴直线导轨，直驱电机和光栅尺直接安装到Y轴动子组件上，用于X方向连续扫描切割运动。

XY轴垂直度优于±2arc sec.

θ轴（旋转轴）采用直驱力矩电机，交叉滚子轴承和光栅尺闭环反馈，可360度连续旋转，θ轴直接安装到Y轴上。

真空吸盘安装到θ轴上，所有部件组装完成后相对基准面（大理石平台表面）小于8um.

Z轴采用直线导轨，直线电机质心驱动和光栅尺闭环反馈，行程50mm，低摩擦气缸做配重，安装到龙门桥架上。

提供济南青大理石基座、龙门支架和支撑钢架，大理石主要矿物成分为辉石，斜长石，少量橄榄石，黑云母，精度000，依终图纸加工外观尺寸及孔位。大理石和支撑钢架间采用橡胶隔振，地脚采用隔振震地脚。

售后服务方案：

我公司在2小时内响应维护服务，24小时内到达现场维护，为更好的做产品售后服务工作，及时接收用户反馈的问题。

免费的电话咨询和服务；

反馈时间不超过2小时；

如果需要到现场服务，我公司将只收取人员的差旅费（北京市内除外）；

硬件如果需要更换或修理，只收取硬件的成本；

原创作者：北京瑞邦精控科技有限公司