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技术文章
平面式气浮运动台为什么能够得到市场的认知
点击次数：25 发布时间：2022/10/27 18:12:39
随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能必须提高，瑞邦精控在精密应用域也拥有丰富的经验，经过多年的行业技术沉淀之后，为大家带来一款超精密平面式气浮运动台。采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了动态性能。广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米飞切抛光加工及高速扫描等行业。
平面式气浮运动台才之所以能够得到企业的认知，是因为它具有着纳米别的跳动，而且还拥有着高速度的稳定性，同时还可以有效提高定位的精度，所以在使用的过程中非常适合于目的高精度应用，在结构上有效把工作台面降低，可以有效降低工作点的高度，减少误差影响。在使用过程中可以有效体现出高刚度，而且还能够带来更好的承重效果，所以在各个应用上都可以使用。
为什么在众多的精密设备中，有许多人会认知平面式气浮运动台，是因为采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；速度1m/s，快速的整定时间；双驱龙门结构，承载能力强；可选光栅或激光干涉仪位置反馈；定位精度±0.15μm，重复定位精度±75nm；优化线缆管理系统；根据需求可定制。产品的可靠性在整个使用的过程中都不至于会出现问题，相信伴随着技术逐渐的提升，在未来一段时间内，这种设备也逐渐会被大家认知。
平面式气浮运动台才之所以能够得到企业的认知，是因为它具有着纳米别的跳动，而且还拥有着高速度的稳定性，同时还可以有效提高定位的精度，所以在使用的过程中非常适合于目的高精度应用，在结构上有效把工作台面降低，可以有效降低工作点的高度，减少误差影响。在使用过程中可以有效体现出高刚度，而且还能够带来更好的承重效果，所以在各个应用上都可以使用。
为什么在众多的精密设备中，有许多人会认知平面式气浮运动台，是因为采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；速度1m/s，快速的整定时间；双驱龙门结构，承载能力强；可选光栅或激光干涉仪位置反馈；定位精度±0.15μm，重复定位精度±75nm；优化线缆管理系统；根据需求可定制。产品的可靠性在整个使用的过程中都不至于会出现问题，相信伴随着技术逐渐的提升，在未来一段时间内，这种设备也逐渐会被大家认知。
原创作者：北京瑞邦精控科技有限公司
