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气浮转台概述
点击次数：28 发布时间：2022/11/11 17:36:28
气浮转台是超精密机械中的一种新型结构，从诞生之日起就一直受到世人的关注，它为微光刻技术、数控加工、生物技术、纳米表面形貌测量、高精密机床研发等域提供一个能够实现超精密定位、检测和运动的载物平台，为开展超精密加工工艺技术研究拓展了域，能解决高精度零件在加工、检测等方面的难题。利用轴承腔内空气压力导入实现的，它使转轴悬浮在空气中并能平稳旋转，使转轴在空气中悬浮，通过轴承腔引入空气压力，使转轴保持悬浮状态，从而获得较高的轴向跳动误差。
北京瑞邦精控科技有限公司拥有多年的精密机械加工及装配经验，采用参数及合理的精度分配完成了期的设计工作，制造出多规格的气浮转台，掌握了气浮转台从设计到制造的全套技术。可水平或卧式安装，解决了气浮抱死的问题，轴向跳动误差10nm，径向跳动误差100nm，定位精度可做到1角内，高回零误差，手动旋转和电动旋转跳动误差一致，闭式气浮结构，高速度稳定性。
对气浮转台的高压气体的流动规律、压力分布、转台精度分离方法等进行了充分掌握。制造出小孔节流型气浮转台，其影响因素：高压气膜的压力分布、气源压力、节流器直径、节流器数量、均压槽深度等，找到了合理气膜刚度时的参数区间，取得了关键技术突破，使用寿命10年以上，为高精度零件的加工与检测、超精密加工工具的研制奠定了技术基础。
原创作者：北京瑞邦精控科技有限公司
