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气浮运动台介绍三
点击次数：48 发布时间：2023/1/7 15:34:44
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通常与直线电机，编码器反馈，控制驱动器组成闭环系统，实现高精度位移定位。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。
精密运动台常用导轨有机械滚动导轨、静压导轨等，机械导轨的应用己经有好多年，机械导轨的运动精度达到微米，气浮导轨摩擦因数可以降低到0.002至0.003。机械导轨的优点是滚动摩擦阻力小，没有滑动导轨的爬行、浮动现象，但机械滚动导轨的摩擦大、抗震性差、运动不平稳、寿命低，在应用方面有所欠缺。
气浮运动台的精度指标：
直线台：定位精度、重复定位精度、直线度、平面度、Pitch/Roll/Yaw，见下图。精密运动台常用导轨有机械滚动导轨、静压导轨等，机械导轨的应用己经有好多年，机械导轨的运动精度达到微米，气浮导轨摩擦因数可以降低到0.002至0.003。机械导轨的优点是滚动摩擦阻力小，没有滑动导轨的爬行、浮动现象，但机械滚动导轨的摩擦大、抗震性差、运动不平稳、寿命低，在应用方面有所欠缺。
气浮运动台的精度指标：
直线度：运动台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向偏差；
平面度：（又称垂直于直线度）运动台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差；
Pitch：围绕X方向的角度误差；
Roll：围绕Y轴方向的角度误差；
Yaw：围绕Z方向的角度误差。
转台：定位精度、重复定位精度、轴向跳动、径向跳动及倾角误差，见下图。
轴向跳动：转台的旋转轴同轴向发生的误差；
径向跳动：转台在轴向位置垂直于旋转台旋转轴发生的误差；
倾角误差：相对于转台旋转轴在角度方向上的误差。
转台：定位精度、重复定位精度、轴向跳动、径向跳动及倾角误差，见下图。
轴向跳动：转台的旋转轴同轴向发生的误差；
径向跳动：转台在轴向位置垂直于旋转台旋转轴发生的误差；
倾角误差：相对于转台旋转轴在角度方向上的误差。
原创作者：深圳市新晟邦科技建材有限公司
