瑞邦精控研发生产的纳米级超精密气浮平台性能与国外产品相当或更高，并且在价格、服务响应速度、定制化周期、产品交付速度等方面具有明显优势。其出色的运动性能适用于精密加工制造、半导体等领域对于精密定位、加工、计量与检测等应用的需求。
随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能必须提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，平面式H形双轴超精密气浮运动台，采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了动态性能。采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；速度1m/s，加速度4g，快速的整定时间；Y轴双驱双龙门结构，承载能力强；可选光栅或激光干涉仪位置反馈；定位精度±0.15um，重复定位精度±75nm；优化线缆管理系统；根据需求可定制。

超精密纳米级直驱气浮运动平台以U型槽直线电机作为驱动，结合瑞邦精控精心设计加工的机械结构、配备高分辨率光栅闭环控制系统，通过专业的驱动控制器以及精心调试实现超精密直线位移运动，运动位置精度可以达到纳米级，响应速度快可达微秒级。
超精密纳米级直驱气浮运动平台广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业，有助于提供国内行业内的加工、检测水平。