RB200LM系列直驱精密垂直升降台，具有纳米级微动步距，高动态性能，结构紧凑，应用于半导体加工检测、微纳加工、测试测量、CCD检测及电子元件组装等领域。

产品特点：

l 非接触式直驱结构

l 高刚性滚柱滑块导轨

l 高动态响应性能

l 结构紧凑型设计

l 低摩擦气缸配重

l 可定制化设计

结构特点：

采用非接触式直线电机驱动，具有零齿槽、高动态性能及电子噪音小等特点，在低速运行时能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动。

滚柱滑块导轨导向，滑块与导轨间是面接触，具有超高刚性、重载荷、低摩擦及导向精度高等特点，运行时摩擦力低，流畅自如，长期免维护的高刚性滚柱导轨，为运动台提供了良好的精度性能

光栅闭环反馈

采用低热膨胀系数的光栅尺闭环反馈，优化热膨胀和结构紧凑的设计，通过控制在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得较高的重复定位精度 。 

精密控制

配合业界上主导的控制器和驱动器相结合，可提供优异的伺服性能、的控制算法，从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。采用低摩擦气缸配重，有效的保持Z轴电机推力，提升垂直方向上的精度性能。 

定制化设计
根据应用可配置大理石桥梁、隔振台、光学平台等整套系统方案

规格指标