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精密运动台Z轴应用和特点
点击次数：241 发布时间：2021/8/23
随着半导体晶圆检测对于焦深要求愈来愈高，瑞邦精控着力开发精密运动台。
精密Z轴主要特点：
1、重载大行程，大可承载50Kg，大行程50mm；
2、重复定位精度0.2μm；
3、高刚性，高动态特性；
4、直驱力矩电机驱动、滚珠丝杠和交叉滚柱导轨带来高导向精度和刚性，精密交叉滚柱导轨导向、可选双编码器（旋转编码器和直线光栅尺）做全闭环控制；
5、相对侧挂Z轴，平升位移台能够直接使负载平面升降，结构更紧凑。
为保证精密运动台稳定性和高精度要求，北京瑞邦精控在以下几方面做严格要求。
材料加工：综合国内外对不同材料的加工工艺，严格把控机加工质量，对热处理和表面处理都有量化指标要求，为了保证运动台在长期运行稳定性。
装配工艺：气浮运动台和线轨运动台都有完整的装配工艺手册，模块化操作，分步验收，设计人员全称参与装配过程，严格把关。
电气调试：三审电气图纸，严格把控焊线工艺，工程师从原理上理解控制器的功能和应用，把机械系统和控制系统综合分析，调试出指标。
检测验收:运动台所有的指标验收都是按照国家规定的验收标准执行，数据报告的出具都是真实的检测数据。终的现场验收，也是实际检测为准。
服务：依据客户现场实际需求，配合客户对机械结构进行设计并优化处理；依据技术协议现场进行技术指标验收；现场进行设备培训及设备维护讲解。
精密Z轴主要特点：
1、重载大行程，大可承载50Kg，大行程50mm；
2、重复定位精度0.2μm；
3、高刚性，高动态特性；
4、直驱力矩电机驱动、滚珠丝杠和交叉滚柱导轨带来高导向精度和刚性，精密交叉滚柱导轨导向、可选双编码器（旋转编码器和直线光栅尺）做全闭环控制；
5、相对侧挂Z轴，平升位移台能够直接使负载平面升降，结构更紧凑。
为保证精密运动台稳定性和高精度要求，北京瑞邦精控在以下几方面做严格要求。
材料加工：综合国内外对不同材料的加工工艺，严格把控机加工质量，对热处理和表面处理都有量化指标要求，为了保证运动台在长期运行稳定性。
装配工艺：气浮运动台和线轨运动台都有完整的装配工艺手册，模块化操作，分步验收，设计人员全称参与装配过程，严格把关。
电气调试：三审电气图纸，严格把控焊线工艺，工程师从原理上理解控制器的功能和应用，把机械系统和控制系统综合分析，调试出指标。
检测验收:运动台所有的指标验收都是按照国家规定的验收标准执行，数据报告的出具都是真实的检测数据。终的现场验收，也是实际检测为准。
服务：依据客户现场实际需求，配合客户对机械结构进行设计并优化处理；依据技术协议现场进行技术指标验收；现场进行设备培训及设备维护讲解。
