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王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
产品特点
QFL3D系列是一款非接触式三轴气浮运动台，应用于精密加工,测试测量,扫描,半导体及光子学对准等行业。产品特点：
非接触式气浮导轨结构；
重复定位精度±50nm；
结构紧凑、精度高；
根据需求可定制；
优化后的线缆管理系统。
产品相册
主要优点
三轴气浮运动台气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步距，还是速度稳定性的要求，QFL3D都证明是终的解决方案。刘工 电话：15910681608
产品优势
三轴气浮运动台根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到小，可以定制化各轴，保证精度性能。
性能特点
三轴气浮运动台精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。
选择要点
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。
参数规格
| 型号 | 单位 | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-150-150-25 | |||||||
| 运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
| 行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 | |
| 定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | |||||||
| 标准值 | ±0.2 | ||||||||||
| 双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||||||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||
| 直线度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.5 | |||||||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.75 | |||||||||
| 平面度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ||||||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||||||
| 大速度 | mm/s | 200 | |||||||||
| 大加速度 | m/s² | 1 , (5定制) | |||||||||
| 大负载 | Kg | 5 | |||||||||
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||||||
