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产品特点
气浮转台特点：闭式气浮轴承结构直驱驱动；直驱零齿槽效应；高速度稳定性；纳米跳动误差；重复定位精度。刘工电话：15910681608
行业应用
精密气浮转台在低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米跳动。设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造等行业。
主要优点
密封式设计：对精密气浮转台进行了优化设计，使工作台面降到低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
非接触式结构：精密气浮转台采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，大限度的提高了定位性能。电机采用的磁路设计，以小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能：气浮转台采用精密圆光栅反馈，驱动控制对光栅栅距细分，分辨率达0.01arc sec，轴向跳动误差100nm。
技术参数
| 型号 | 单位 | QFR-NOTE100 | QFR- NOTE200 | QFR- NOTE300 | |
| 行程 | degree | 360 | |||
| 台面直径 | mm | 66 | 148 | 248 | |
| 定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
| 标准值 | ±3 | ||||
| 双向重复定位精度 | Plus值 | arc sec | ≤1 | ||
| 标准值 | ≤1.5 | ||||
| 轴向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
| 标准值 | 250 | ||||
| 径向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
| 标准值 | 300 | ||||
| 电子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
| 大速度（空载） | rpm | 300 | |||
| 大负载 | Kg | 20 | 40 | 70 | |
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||
北京瑞邦精控简称aus-precison, 气浮转台 Air bearing rotary stage
