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产品应用
气浮运动台增加密封罩起到防尘作用，行程可达1米，搭配行业内控制系统，应用于精密加工，测试测量，印刷、扫描、半导体及光子学等行业。
非接触式结构
气浮运动台采用非接触式气浮轴承、非接触式直线电机驱动和非接触式反馈装置，确保了在使用时免维护运行，因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮轴承不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
高精度指标
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮直线台的直线度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高，同时由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃，定位精度和重复精度得到了显著提高。
密封防尘
含密封防尘罩，特殊的结构设计，使摩擦力降到低，不影响精度性能，应用于精密加工、激光加工等行业。
定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能，行程也可接受定制。
精度指标
| 单位 | QFL200C-100 | QFL200C-200 | QFL200C-300 | QFL200C-400 | QFL200C-500 | ||
| 行程 | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | |
| 定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.3 | |
| 标准值 | ±0.3 | ±0.4 | ±0.5 | ||||
| 双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.2 | |
| 标准值 | ±0.1 | ±0.3 | ±0.35 | ||||
| 直线度 | Plus值 | μm | ±0.15 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.75 | |
| 标准值 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.75 | ±1 | |||
| 平面度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.4 | ±0.75 | ||
| 标准值 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±2 | |||
| Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
| 大速度 | m/s | 1 | |||||
| 大加速度 | m/s² | 5，（10, 20 定制） | |||||
| 大负载 | Kg | 20 | |||||
| 供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||
| 型号 | 单位 | QFL200C-600 | QFL200C-700 | QFL200C-800 | QFL200C-900 | QFL200C-1000 | |
| 行程 | mm | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | |
| 定位精度 | Plus值 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ±1 | ||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | |||||
| 双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.3 | ±0.4 | ||
| 标准值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | ||||
| 直线度 | Plus值 | μm | ±1 | ±1.5 | |||
| 标准值 | ±2 | ±2.5 | |||||
| 平面度 | Plus值 | μm | ±1 | ±1.5 | |||
| 标准值 | ±2 | ±2.5 | |||||
| Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±2 | ±2.5 | |||
| 标准值 | ±4 | ±5 | |||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
| 大速度 | m/s | 1 | |||||
| 大加速度 | m/s² | 5，（10, 20 定制） | |||||
| 大负载 | Kg | 20 | |||||
| 气体压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||
