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产品特点
l Ÿ XYZ轴行程210mmx 210mm x 50mm
l Ÿ AB轴行程±45°x 360°
l Ÿ AB轴轴向和径向跳动≤2μm
l Ÿ AB轴承载10kg
l Ÿ 优化线缆管理系统
l Ÿ 结构、行程可定制产品简介
Z轴采用伺服电机驱动，精密滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，行程50mm，大尺寸楔形平升机构，作为底轴实现精密定位，电机含断电抱闸功能。
XY轴均采用双直线电机驱动，防蠕动交叉滚柱导轨及光栅尺闭环反馈，行程210×210mm，安装Z轴上；此外，XY可定制抱闸功能。
AB轴采用力矩电机驱动，精密轴环导向及光栅尺闭环反馈，同步轴向和径向跳动误差优于1μm，安装到XY轴上，ZXYAB轴依次叠加的方式，终端负载10kg。
需要安装到大理石基座上使用，如使用光学面包板，建议在Z轴下面安装大理石基座。
规格指标
| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| Z 轴 | 行程 | mm | 50 | 50 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1 | ±0.4 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.25 | |
| 微动步距 | nm | 0.8 | 0.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 5 | 5 | |
| X 轴 | 行程 | mm | 210 | 210 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.05 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±0.25 | |
| 平面度 | μm | ±1.5 | ±0.85 | |
| 微动步距 | μm | 0.8 | 0.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 150 | 150 | |
| Y 轴 | 行程 | mm | 210 | 210 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.1 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.1 | ±0.05 | |
| 直线度 | μm | ±1.5 | ±0.25 | |
| 平面度 | μm | ±1.5 | ±0.6 | |
| 微动步距 | μm | 0.8 | 0.8 | |
| 工作速度 | mm/s | 150 | 150 | |
| A 轴 | 行程 | ° | ±45 | ±45 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±5 | ±1.6 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.65 | |
| 轴向跳动误差 | μm | 4 | ＜1 | |
| 径向跳动误差 | μm | 4 | ＜1 | |
| 微动步距 | arc sec | 4 | 4 | |
| 工作速度 | °/s | 30 | 30 | |
| B 轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±5 | ±1.5 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±2 | ±0.4 | |
| 轴向跳动误差 | μm | 4 | ＜1 | |
| 径向跳动误差 | μm | 4 | ＜1 | |
| 微动步距 | arc sec | 4 | 4 | |
| 工作速度 | °/s | 90 | 90 | |
| ZXYAB | 负载 | kg | 10 | 10 |
