产品特点

l Ÿ   非接触式直驱结构                                 Ÿ   真空交叉滚柱导轨

l Ÿ   适用高真空10^-7 Torr                               Ÿ   结构可接受定制
产品简介

X轴行程380mm，Y轴行程200mm，高真空直线电机驱动，在低速运行时保持平稳，在高速状态不产生振动。

真空交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，运动平稳，交叉排列，多方向受力稳定。十字叠层结构，使整体结构更紧凑。真空润滑脂涂抹在真空导轨上，不易挥发。

尽可能的消除盲孔，在盲孔和螺栓处有通孔，保证安装孔开放式结构。结构件选用航空铝合金件，清洗加工表面，高低温热处理消除加工应力，确保使用的长期稳定性。

使用聚四氟乙烯材质的垫圈；螺钉中心带通孔，结构件消除盲孔，方便通风排气；轴侧面无防尘设计，方便通风排气；线缆外表为特氟龙材质，适用真空环境；提供真空腔外的配套连接法兰及线缆。

规格指标