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产品展示

平升Z轴

点击次数:13发布时间:2023/11/28 9:47:48

平升Z轴

更新日期:2024/5/6 11:51:23

所 在 地:中国大陆

产品型号:RBZ-SG系列精密Z轴

简单介绍:王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰应用域RBZ-SG系列精密Z轴是一款长行程的,具有纳米微动步距,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。

相关标签:Z轴 运动台 位移台 

优质供应

详细内容

 王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
结构特点

平升Z轴 RBZ-SG系列直驱结构,承载能力大,在一个长行程的移动范围,保持尽可能低的高度,优化阿贝误差影响,有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。

 平升Z轴 直驱结构

力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节,RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动,相对侧升结构Z轴,无需转接板,负载重心布置在Z轴中心,有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。

光栅闭环反馈

RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈,直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式,直接测量工件移动时的误差,提高了精度性能。

 规格指标

型号

单位

RBZ-20SG

RBZ-35SG

RBZ-50SG

行程

mm

20

35

50

补偿后定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.15

±0.15

标准值

±1

±1

±1

双向重复定位精度

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.075

±0.075

标准值

±0.5

±0.5

±0.5

直线度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.5

±0.5

±0.75

标准值

±3

±4

±5

Pitch Roll (2)

Plus (1) 

arc sec

±2.5

±2.5

±3.5

标准值

±5

±5

±7

Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±2

±2

±3

标准值

±5

±5

±7

电子分辨率 (3)

nm

0.3 5(选配)

大速度 (空载) (4)

mm/s

10

10

20

大负载

kg

20

40

60

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度5mm/sRenishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标,是标准值的升版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下的指标,大速度取决于负载大小。


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企业档案

  • 会员类型:免费会员
  • 工商认证: 【未认证】
  • 最后认证时间:
  • 法人:
  • 注册号:
  • 企业类型:生产商
  • 注册资金:人民币万

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