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产品简介
XY轴采用直线电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，行程800mm，X轴为双直线电机驱动，安装到大理石基座上。
AB轴采用力矩电机驱动，精密轴环导向及光栅尺闭环反馈，行程±75°x 360°，大承载40kg，安装到XY轴上。侧向轴带抱闸功能，防止断电掉落。
Z轴采用伺服电机驱动，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，行程450mm，含电机断电抱闸，安装到大理石横梁上。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做终设计。
规格指标
| 轴系 | 测试项目 | 单位 | 指标要求 | 实测指标 |
| X 轴 | 行程 | mm | 800 | 800 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1.5 | ±0.75 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.35 | |
| 直线度 | μm | ±6 | ±1.05 | |
| 平面度 | μm | ±6 | ±0.6 | |
| 大速度 (空载) | mm/s | 500 | 500 | |
| Y 轴 | 行程 | mm | 600 | 600 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±1 | ±0.25 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±0.5 | ±0.15 | |
| 直线度 | μm | ±5 | ±1.65 | |
| 平面度 | μm | ±6 | ±1.25 | |
| 大速度 (空载) | mm/s | 500 | 500 | |
| A 轴 | 行程 | ° | -120~30 | -120~30 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±5 | ±2.25 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±2.5 | ±0.8 | |
| 轴向跳动误差 | μm | 4 | 1 | |
| 径向跳动误差 | μm | 4 | 1 | |
| 大速度 (空载) | °/s | 90 | 90 | |
| B 轴 | 行程 | ° | 360 | 360 |
| 补偿后定位精度 | arc sec | ±5 | ±3.45 | |
| 双向重复定位精度 | arc sec | ±2.5 | ±1.65 | |
| 轴向跳动误差 | μm | 4 | 1 | |
| 径向跳动误差 | μm | 4 | 1 | |
| 大速度 (空载) | °/s | 180 | 180 | |
| Z 轴 | 行程 | mm | 450 | 450 |
| 补偿后定位精度 | μm | ±2 | ±0.8 | |
| 双向重复定位精度 | μm | ±2.5 | ±0.3 | |
| 直线度 | μm | ±5 | ±1.45 | |
| 平面度 | μm | ±5 | ±1.75 | |
| 大速度 (空载) | mm/s | 100 | 100 | |
| XYAB | 负载 | kg | 40 | 40 |
| Z | 负载 | kg | 20 | 20 |
