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产品相册



产品特点
气浮转台特点：闭式气浮轴承结构直驱驱动；直驱零齿槽效应；高速度稳定性；纳米跳动误差；重复定位精度±0.5角内。联系电话：15910681608

应用域
QFR系列气浮旋转台在低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米跳动。QFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。

主要优点
密封式设计：对QFR直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
非接触式结构：QFR气浮转台采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，大限度的提高了定位性能。电机采用的磁路设计，以小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能：气浮转台采用精密圆光栅反馈，的驱动控制对光栅栅距细分，分辨率达0.01角，轴向跳动误差＜80nm。
定制化设计：气浮转台可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。

产品规格

 注：1. 空气供应需清洁，干燥至0°F露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。
2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%RH.