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产品特点
双轴超精密气浮运动台实现在平面内XY方向上超精密移动，其特点是：碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；平面式气浮，避免阿贝误差影响；重复定位精度±75nm，定位精度±0.15速度1m/s，快速的整定时间；可选光栅或激光尺位置反馈；龙门式双驱结构，承载能力强；优化后的线缆管理系统，联系电话15910681608。
产品相册
应用域
产品特点
双轴超精密气浮运动台实现在平面内XY方向上超精密移动，其特点是：碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度；平面式气浮，避免阿贝误差影响；重复定位精度±75nm，定位精度±0.15速度1m/s，快速的整定时间；可选光栅或激光尺位置反馈；龙门式双驱结构，承载能力强；优化后的线缆管理系统，联系电话15910681608。
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应用域
双轴超精密气浮运动台随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能必须提高，我司在运动控制上有着丰富的定位经验，推出了一款平面式H形双轴超精密气浮运动台。QFHDS采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米飞切抛光加工及高速扫描等行业。
产品优势
双轴超精密气浮运动台采用的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。
主要优点
产品优势
双轴超精密气浮运动台采用的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。
主要优点
双轴超精密气浮运动台根据应用，QFHDS可用于主动或被动隔振系统，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等，整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境.
参数规格
参数规格
| 单位 | QFHDS-300-300 | QFHDS -400-400 | QFHDS -500-500 | |||||
| 运动轴 | 轴系 | X | Y | X | Y | X | Y | |
| 行程 | mm | 300 | 300 | 400 | 400 | 500 | 500 | |
| 定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||
| 标准值 | ±0.2 | ±0.35 | ±0.35 | |||||
| 双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.075 | ±0.1 | ±0.1 | |||
| 标准值 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
| 直线度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | |||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
| 平面度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.3 | ±0.4 | |||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | |||||
| Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ±1 | ±1 | |||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
| 正交性 | Plus值 | arc sec | 2 | |||||
| 标准值 | 5 | |||||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||
| 大速度 | m/s | 1 | ||||||
| 大加速度 | m/s² | 5（10, 20, 30 定制） | ||||||
| 大负载 | Kg | 20 | ||||||
