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产品特点
纳米三轴运动台实现XYZ方向精密移动，其产特点实：非接触式直驱结构驱动；抗蠕动交叉滚柱导轨导向；百纳米定位精度；纳米微动步距；高动态性能；结构可接受定制，刘工 电话15910681608。
纳米三维运动台采用非接触式直线直驱电机驱动，非常适合要求高精度的需求，其不会与磁铁发生不良反应，在低速运行时也能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动，直驱电机具有零齿槽效应、高动态性能和电子噪音小等特点。
抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，工作时比较平稳；交叉排列,多方向受力时比较稳定；该结构可以把平台高度降低，结构紧凑，减小阿贝误差的影响。
纳米三维运动台的Z轴采用低摩擦气缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。
精密控制
配合业界上主导的控制器和驱动器相结合，可提供优异的伺服性能、的控制算法，从而提高动态性能。控制器有误差补偿功能。
可定制用于空环境下的版本，根据应用可配置大理石基座、隔振台、光学平台等整套系统方案。
参数规格
参数规格
| 单位 | RBN150-60-60-35 | RBN150-60-60-60 | RBN150-110-110-35 | RBN150-110-110-60 | |||
| 行程 | mm | 60x60x35 | 60x60x60 | 110x110x35 | 110x110x60 | ||
| 定位精度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.3 | |||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.6 | |||||
| 双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||
| 标准值 | ±0.15 | ||||||
| 直线度 | Plus值 | μm | ±0.75 | ±1 | |||
| 标准值 | ±1.5 | ±1.5 | |||||
| 平面度 | Plus值 | μm | ±1.5 | ±2 | |||
| 标准值 | ±2 | ±2.5 | |||||
| 电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||
| 大速度 | mm/s | 200 | |||||
| 大加速度 | m/s² | 5，（10定制） | |||||
| 大负载 | Kg | 5 | |||||
| 正交性 | Plus值 | arc sec | ±2.5 | ||||
| 标准值 | ±5 | ||||||
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