二、产品结构：

             本设备由：不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。

三、工作原理：

      本产品采用优质不锈钢板进行制造，燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体，它分别有一级燃烧塔和二级燃烧洗涤塔组成。根据硅烷(矽烷)在空气中自燃的特性，特在燃烧塔中设置密闭燃烧室，为保证硅烷在燃烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，控制在-100Pa左右。

      根据硅烷与空气接触而自然的特点，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷淋处理，使废气与中和循环液接触反应，然后进入脱液器处理后由抽风机排入大气。

      在进气方便采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。