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技术文章
电子双氧水的颗粒管控浅议
双氧水也叫过氧化氢,过氧化氢是一种重要的化工原料,化学式为H2O2。纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体,可任意比例与水混溶,是一种强氧化剂,水溶液俗称双氧水,为无色透明液体。双氧水的生产方法主要有电解法、蒽醌法、异丙醇法、氧阴还原法和氢氧直接化合法等,蒽醌法是生产双氧水的主要方法,国内99%以上的双氧水装置采用该工艺。
双氧水的作用
双氧水根据浓度及应用域不同可分为电子、食品、工业等。电子双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂,在半导体制程端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。从行业产量来看,2021年我国高纯电子双氧水产量9.44万吨,同比增长32.0%。
双氧水的颗粒管控重要手段
电子双氧水属于湿电子化学品,技术壁垒较高。双氧水的颗粒管控也显得尤为重要。普洛帝测控门研发了针对双氧水的颗粒管控设备PMT-2。在双氧水生产企业已经得到广泛应用。
应用范围:
可以对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、平板玻璃、硅晶片、手机零部件、纯水机、纳米过滤、微米过滤等域进行固体颗粒污染度检测,及对有机液体、聚合物溶液进行不溶性微粒的检测。
技术参数:
订制要求:各类液体检测要求;
传感器:第八代双激光窄光检测器;
测试软件:V8.3分析测试软件集成版&PC版;
测试标定:JJG1061或乳胶球或ISO21501-2;
操作方式:彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合;
检测范围:0.1-0.5um、0.1-1.0um;
特殊检测:自定义1~100μm或者4~70µm(c)微粒,0.1μm或者0.1µm(c)任意检测;
取样方式:计量泵;
进样精度:<±1%
重合精度:10000粒/mL(5%重合误差);
模拟输出:4mA~20mA接口;并带超标报警功能(可定制);
报告方法:颗粒数/ml及污染度等;
输入电压:100V~265V,50Hz~60Hz;
售后服务:普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。
原创作者:沣西新城诺明翰仪器服务中心