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技术文章
电子半导体车间空气过滤过滤器解决方案
点击次数:12 发布时间:2024/9/9 20:05:52
电子半导体车间空气过滤过滤器解决方案
电子半导体车间空气净化工程目标是建立一个洁净无尘的工作环境,防止空气中的微粒子、有害空气、细菌等。半导体生产流水线上的半成品和成品造成污染,传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满空气过滤器,整个地面为回风栅板。如FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目市场上一种安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质量的循环空气。
先的晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染 。
半导体车间空气净化通常由:初效过滤器、中效过滤器、过滤器三空气过滤的空调送风回风和 排风系统、动力及照明系统、工作环境参数的监测报警消防、通讯系统、人流和物流系统、工艺管路系统等部分组成。
传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满过滤器,整个地面为回风栅板。FFU风机过滤单元使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目市场上一种安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质量的循环空气。
本文标签: 空气过滤器 初效过滤器 中效过滤器
原创作者:苏州星源洁净环境科技有限公司