过滤器安装后的现场检漏问题分析

过滤器现场安装以后检漏是确认过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。

       过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试，而者涉及过滤器和安装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在洁净室风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的洁净室或更换终端过滤器后均应作检漏测试。检漏时，从过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。
 
      尤其要注意的是，在过滤器和安装框架之间的检漏，可以沿安装框架检漏，也可以送风口箱体断面上检漏，但要排除卷吸气流的干扰，要避免箱体上的积灰干扰，尤其是采样口不能接触风口箱体或过滤器的框架。
 
      过滤器安装以后必须要进行检漏，要计算 DOP 的发尘量及系统风量，确定DOP 导入地点，要测量过滤器上游的粒子浓度，根据规范按 0.5μm 的粒径来检漏，需要确定正确的K值。如果采用不是0.5μm的粒径来检漏，建议可按 ISO14644-3 的标准来确定 K 值。建议采用 28.3 L/min 的粒子计数器来检漏。如果采用 2.83 L/min 的粒子计数器，必须控制扫描速度。

原创作者：苏州星源洁净环境科技有限公司