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技术文章
空气过滤器在芯片厂的应用
点击次数:20 发布时间:2024/9/11 9:46:07
空气过滤器在芯片厂的应用
电子行业,尤其是制造芯片的车间,对粒子的要求很严格,对空气过滤器的要求就更加严格。
一般,芯片车间都是层流的空气形式,天花板上面布满FFU,下面是防静电地板架空,这样可以气流从上面流入,经过过滤器过滤,从下面地板流出。完风。洁净度。
下面是几种空气过滤器中含有的微量元素,对无尘室形成二次污染。
20世纪90年代初,国外曾对过滤器玻纤滤纸的含硼问题争吵了一阵,随后,过滤器的微量挥发元素成了芯片厂关注的事情。近几年,国外出现了聚四氟乙烯纤维过滤材料,这种擦料没有挥发物,但它是带静电的“驻体”,少了个隐患,多了个麻烦,过滤后的空气要进行电中和以消除空气中的离子。目这种材料价格偏高,大部分过滤器仍使用玻璃纤维滤纸。过滤器上可能的微量挥发元素主要来源于粘接剂和洗涤剂,为芯片厂供货的过滤器厂商要在这方面下功夫。
空气中的海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘的颗粒比较大,普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业的理想地点应该远离海岸,可沿海地区经济发达,电子厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,多用点过滤器就是了。
当的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,像百千这样的无尘室很普遍。当芯片上的线宽小到0.5μm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5μm 的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂,它就是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车,芯片厂的化学过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。
本文标签: 空气过滤器 空气过滤器 过滤器
原创作者:苏州星源洁净环境科技有限公司