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技术文章

洁净厂房的设计与施工-气瓶柜/架的日常操作功能

点击次数:41 发布时间:2024/11/4 6:03:15

洁净厂房的设计与施工-445-气瓶柜/架的日常操作功能



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苏州星源洁净环境科技有限公司

气瓶柜/架的日常操作功能可分为全自动、半自动、手动三种方式。通常气瓶柜的操作动作有:预吹扫(pre-purge),利用普通氮气(GN,,general N。)流过真空发生器造成管路内的负压,抽出气瓶柜盘面管路内的特气,再通人PN,稀释管壁内残存的微量特气,反复进行预吹扫与稀释,同时以负压检测真空发生器的性能,确保管路不泄漏。后置吹扫(post purge),通以PN,维持_定压力进行保压测试管路是否泄漏,并确认钢瓶接头与管路的连接是否良好,如此进行PN,的复吹扫,将更换钢瓶时渗入的污染物去除。上线冲吹(process purge),将PN,清除并送入特种气体上线,此时需反复利用特种气体进行吹扫,将清洁用的PN,地去除。

气瓶柜内特气钢瓶的更换时间,通常是当气瓶内特种气体的余量约为10%或气瓶内的特种气体达到使用年限时进行更换。据了解实际运行中是以特气的使用记录为依据进行判断,以得到*佳的更换时间点,并应充分考虑气瓶内的特种气体可能会对钢瓶形成微量腐蚀、污染气体。更换钢瓶的操作通常由预吹扫、换气瓶、后置吹扫和上线吹扫等四个步骤完成,为实现预吹扫、前置吹扫等项功能,特种气体气瓶柜的管路与阀件的设置较为复杂,如图1.9.30所示。各厂家气瓶柜的功能都会存在差异,选用时除应考虑厂家的技术能力与维护人力外,还应以系统稳定性和市场占有率进行考量。若采用手动方式,人员的操作需相当小心谨慎,任何步骤的疏忽皆可能严重影响供气的质量和造成危险。所以对危险性气体通常采用自动吹扫(auto-purge)的功能,当自动方式无法顺利运作时才改为半自动的方式。



 

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第3章 洁净厂房的安全消防设计

4  洁净室建筑 

5  空气净化 

6章 净化空调系统设计 

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8  洁净厂房的给水排水设施 

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 383-气体供应设施9.1概述,384-半导体用气体的种类和用途,385-电子产品所需的气体品种,386-半导体用气体对人的毒性,387-部分电子工业用气体的危险性质,388-某0.35μm的ULSI生产线所应用的部分高纯气体、特种气体的品质指标,389-高纯大宗气体品质要求,390-国家标准中纯氧、高纯氧、超纯氧的气体品质,391-国内部分特种气体的品质,392-干燥、洁净压缩空气是不可缺少,393-气体供应方式,394-高纯大宗气体的一种供应方式,395-特种气体的供应,396-干燥洁净压缩空气的供应,397-高纯大宗气体系统,398-大宗气体纯化系统的设置,399-大宗气体纯化站,400-氢气纯化站,401-气体纯化设备的类型,402-氢气催化吸附型纯化装置的流程图,403-复合型氢气纯化装置的流程示意图,404-纯化装置的流程示意图" linktype="text" imgurl="" imgdata="null" data-itemshowtype="0" tab="innerlink" data-linktype="2" hasload="1" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0);padding: 0px;outline: 0px;-webkit-user-drag: none;cursor: default;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">复合型氮气、纯化装置的流程示意图,405-钯膜纯化装置,406-氢气纯度可达9N(99.999999%),407-高纯氮气,408-高纯氧气,409-在低温空分装置上增设高纯氧塔(或称低温精馏法)制高纯氧的流程示意图,410-高纯氢气,411-利用金属氢化物储氢合金对氢的可逆、选择性吸收特性和储氢合金-氢系的压力-温度特性进行氢气纯化,412-高纯氩气,413-气体过滤,414-几种气体过滤器的主要技术性能,415-高精度气体过滤器,416-高纯大宗气体输送系统管路的敷设 ,417-不同材料的氧渗透实测数据,418-电抛光处理前后的表面粗糙度比较,419-不同管道材料的吸附性、渗透性比较,420-大宗气体纯化及输送系统工程不锈钢管的技术要求,421-高纯气体输送系统的阀门、附件的严密性,422-高纯气体输送系统的试验、测试, 423-高纯气体检测,424-高纯气体中微氧的分析,425-高纯气体中微水的分析方法,426-氧气在线检测分析仪器及其检测极限,427-特种气体工艺系统,428-液态气体供应系统示意图,429-特种气体站房,430-特种气体站房的设置和布置,431-每个控制区的气体允许量和独立式建筑的压缩气体限值,432-特气站房的工程设计,433-特种气体站房的排风系统,434-特气站房的给水排水设计,435-硅烷站,436-硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距,437-硅烷混合气体储存区设置在洁净厂房建筑外规定的示意图,438-硅烷站的工艺系统,439-排风系统内引发着火和爆炸,440-室外硅烷站的雨淋冷却系统,441-硅烷站开敞式布置时,442-特种气体设备,443-特气类别划分为Ⅰ~Ⅴ五类,444-气瓶柜内的钢瓶为单瓶时,445-气瓶柜/架的日常操作功能,



 


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