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技术文章
洁净厂房的设计与施工-444-气瓶柜内的钢瓶为单瓶时
点击次数:16 发布时间:2024/11/4 6:12:15
洁净厂房的设计与施工-444-气瓶柜内的钢瓶为单瓶时
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苏州星源洁净环境科技有限公司
气瓶柜内的钢瓶为单瓶时,常用于研究机构或实验室等,由于特种气体使用量小,现场可随时协调停机进行钢瓶更换;其优点为简单、节省空间、成本低,但需日常管理与协调以避免中断供气,造成损失。双瓶与三瓶型,常用于产品生产工厂的生产供气不允许停机时,当一只钢瓶中的特气使用完后,另一只待机的钢瓶将自动上线供应,并发出更换钢瓶的报警信号;双瓶、三瓶两种的差别主要是设有吹扫用的纯化氮气,可以采用纯氮钢瓶或集中公共管路供应。当吹扫用的PN。统一由集中管路供应时,特种气体供应系统(不管是否兼容)将会因吹扫管路的存在,形成事实上的连接状态,形成较高的风险,一旦集中供应的PN,中断,又未发出任何警报,若此时又有二种不相容的特气钢瓶在使用吹扫的管路,极可能发生爆炸事故,这样的意外亦有发生过的纪录。因此,采用“三瓶式”时应设置必需的安全措施,并应加强安全管理。三瓶式气瓶柜的主要缺点为设置的空间较大,成本较高,但据了解,目前双瓶与三瓶的购置成本已无太大的差异,所以若非空间上有无法克服的困难,对于危险性气体以三瓶式气瓶柜为优先选择。若为惰性气体使用的气瓶架,由集中供应PN,或现场使用独立的钢瓶皆可。对于双瓶以上的气瓶柜均设有自动切换的功能以实现连续供应特气,通常以压力传感器探测供应的压力计算钢瓶剩余的气体量;若为低蒸气压气体,以电子重量磅秤来测量钢瓶剩余的气体量。
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1-缘起,2-内容简介,3-二十年的再造与重生,4-国级大院与众多央企的净化结晶,5-26位净化大咖的呕心之作。
篇 洁净厂房设计
第1章 洁净技术和洁净室标准
第3章 洁净厂房的安全消防设计
第4章 洁净室建筑
第5章 空气净化
第6章 净化空调系统设计
第7章 洁净厂房的排气设施
第8章 洁净厂房的给水排水设施
第9章 气体供应设施
383-气体供应设施9.1概述,384-半导体用气体的种类和用途,385-电子产品所需的气体品种,386-半导体用气体对人的毒性,387-部分电子工业用气体的危险性质,388-某0.35μm的ULSI生产线所应用的部分高纯气体、特种气体的品质指标,389-高纯大宗气体品质要求,390-国家标准中纯氧、高纯氧、超纯氧的气体品质,391-国内部分特种气体的品质,392-干燥、洁净压缩空气是不可缺少,393-气体供应方式,394-高纯大宗气体的一种供应方式,395-特种气体的供应,396-干燥洁净压缩空气的供应,397-高纯大宗气体系统,398-大宗气体纯化系统的设置,399-大宗气体纯化站,400-氢气纯化站,401-气体纯化设备的类型,402-氢气催化吸附型纯化装置的流程图,403-复合型氢气纯化装置的流程示意图,404-纯化装置的流程示意图" linktype="text" imgurl="" imgdata="null" data-itemshowtype="0" tab="innerlink" data-linktype="2" hasload="1" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0);padding: 0px;outline: 0px;-webkit-user-drag: none;cursor: default;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">复合型氮气、纯化装置的流程示意图,405-钯膜纯化装置,406-氢气纯度可达9N(99.999999%),407-高纯氮气,408-高纯氧气,409-在低温空分装置上增设高纯氧塔(或称低温精馏法)制高纯氧的流程示意图,410-高纯氢气,411-利用金属氢化物储氢合金对氢的可逆、选择性吸收特性和储氢合金-氢系的压力-温度特性进行氢气纯化,412-高纯氩气,413-气体过滤,414-几种气体过滤器的主要技术性能,415-高精度气体过滤器,416-高纯大宗气体输送系统管路的敷设 ,417-不同材料的氧渗透实测数据,418-电抛光处理前后的表面粗糙度比较,419-不同管道材料的吸附性、渗透性比较,420-大宗气体纯化及输送系统工程不锈钢管的技术要求,421-高纯气体输送系统的阀门、附件的严密性,422-高纯气体输送系统的试验、测试, 423-高纯气体检测,424-高纯气体中微氧的分析,425-高纯气体中微水的分析方法,426-氧气在线检测分析仪器及其检测极限,427-特种气体工艺系统,428-液态气体供应系统示意图,429-特种气体站房,430-特种气体站房的设置和布置,431-每个控制区的气体允许量和独立式建筑的压缩气体限值,432-特气站房的工程设计,433-特种气体站房的排风系统,434-特气站房的给水排水设计,435-硅烷站,436-硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距,437-硅烷混合气体储存区设置在洁净厂房建筑外规定的示意图,438-硅烷站的工艺系统,439-排风系统内引发着火和爆炸,440-室外硅烷站的雨淋冷却系统,441-硅烷站开敞式布置时,442-特种气体设备,443-特气类别划分为Ⅰ~Ⅴ五类,444-气瓶柜内的钢瓶为单瓶时,
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