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技术文章
洁净厂房的设计与施工-443-特气类别划分为Ⅰ～Ⅴ五类
点击次数：94 发布时间：2024/11/4 6:18:15
洁净厂房的设计与施工-443-特气类别划分为Ⅰ～Ⅴ五类
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②气瓶柜、气瓶架按不同用途、特气类别划分为Ⅰ～Ⅴ五类。其中Ⅰ类用于高压燃烧性气体（high-pressure flammable gas），如 SiH4、B2H6、PH3、CH4、H2、AsH3等，通常装设有相关的消防设备，如紫外/红外火焰探测器、喷淋头、气体泄漏探测器等；因具有较高压力的压缩气体，可使用检测供应压力的方式计算钢瓶剩余的气体量。Ⅱ类用于中压液态燃烧性气体（mid-pressure liquid flammable gas），如 NH3、HBr、HCl、Cl2等，该类型除消防设备需要装设外，还以电子重量磅秤来检测钢瓶剩余的气体量；若对供气的流量有较大的需求时，还需设置相关的加热设备。Ⅲ类用于低蒸气压气体（low vapor pressure gas），如 BCl3、DCS、CIF3、WF6等，除使用电子秤与加热装置外，由于是非高压的钢瓶且供应流量较小，可以不设置高压泄漏检测与过流量保护装置。Ⅳ类用于液态惰性气体（liquid inert gas），如C4F8、CHF3、C3F6、N2O、SF6等，只需相关的电子秤检测钢瓶剩余的气体量。V类用于惰性气体（inert gas），如CF4、Ar、He等。
由于特种气体性质不同，V类气瓶柜需依其使用的气体种类设计相关的气瓶柜/架功能。如I～Ⅲ类为危险性气体，均需装设自动旋转式关断器（valve shutter），一旦出现紧急状况即可将钢瓶上的道出口旋转阀关闭。只要运行过程中特气钢瓶未出现破损，在关断器功能正常时就可保证供应的安全性。I、Ⅱ类气瓶柜/架是有可能过流量供应的气体，应采用过流量关闭装置，以避免异常流量输出，引发事故。表1.9.36是各种类型特气瓶柜/架的功能选用表。
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1-缘起，2-内容简介，3-二十年的再造与重生，4-国级大院与众多央企的净化结晶，5-26位净化大咖的呕心之作。
篇 洁净厂房设计
第1章 洁净技术和洁净室标准
第3章 洁净厂房的安全消防设计
第4章 洁净室建筑
第5章 空气净化
第6章 净化空调系统设计
第7章 洁净厂房的排气设施
第8章 洁净厂房的给水排水设施
第9章 气体供应设施
383-气体供应设施9.1概述，384-半导体用气体的种类和用途，385-电子产品所需的气体品种，386-半导体用气体对人的毒性，387-部分电子工业用气体的危险性质，388-某0.35μm的ULSI生产线所应用的部分高纯气体、特种气体的品质指标，389-高纯大宗气体品质要求，390-国家标准中纯氧、高纯氧、超纯氧的气体品质，391-国内部分特种气体的品质，392-干燥、洁净压缩空气是不可缺少，393-气体供应方式，394-高纯大宗气体的一种供应方式，395-特种气体的供应，396-干燥洁净压缩空气的供应，397-高纯大宗气体系统，398-大宗气体纯化系统的设置,399-大宗气体纯化站，400-氢气纯化站，401-气体纯化设备的类型，402-氢气催化吸附型纯化装置的流程图，403-复合型氢气纯化装置的流程示意图，404-纯化装置的流程示意图" linktype="text" imgurl="" imgdata="null" data-itemshowtype="0" tab="innerlink" data-linktype="2" hasload="1" style="-webkit-tap-highlight-color: rgba(0, 0, 0, 0);padding: 0px;outline: 0px;-webkit-user-drag: none;cursor: default;max-width: 100%;box-sizing: border-box !important;overflow-wrap: break-word !important">复合型氮气、纯化装置的流程示意图，405-钯膜纯化装置，406-氢气纯度可达9N（99.999999%），407-高纯氮气，408-高纯氧气，409-在低温空分装置上增设高纯氧塔（或称低温精馏法）制高纯氧的流程示意图，410-高纯氢气，411-利用金属氢化物储氢合金对氢的可逆、选择性吸收特性和储氢合金-氢系的压力-温度特性进行氢气纯化，412-高纯氩气，413-气体过滤，414-几种气体过滤器的主要技术性能，415-高精度气体过滤器，416-高纯大宗气体输送系统管路的敷设 ，417-不同材料的氧渗透实测数据，418-电抛光处理前后的表面粗糙度比较，419-不同管道材料的吸附性、渗透性比较，420-大宗气体纯化及输送系统工程不锈钢管的技术要求，421-高纯气体输送系统的阀门、附件的严密性，422-高纯气体输送系统的试验、测试， 423-高纯气体检测，424-高纯气体中微氧的分析，425-高纯气体中微水的分析方法，426-氧气在线检测分析仪器及其检测极限，427-特种气体工艺系统，428-液态气体供应系统示意图，429-特种气体站房，430-特种气体站房的设置和布置，431-每个控制区的气体允许量和独立式建筑的压缩气体限值，432-特气站房的工程设计，433-特种气体站房的排风系统，434-特气站房的给水排水设计，435-硅烷站，436-硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距，437-硅烷混合气体储存区设置在洁净厂房建筑外规定的示意图，438-硅烷站的工艺系统，439-排风系统内引发着火和爆炸，440-室外硅烷站的雨淋冷却系统，441-硅烷站开敞式布置时，442-特种气体设备，443-特气类别划分为Ⅰ～Ⅴ五类，
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原创作者：苏州星源洁净环境科技有限公司
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