洁净厂房的设计与施工-442-特种气体设备

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9.3.3 特种气体设备

电子工厂特种气体供应系统的设备主要有气瓶柜、气瓶架、阀门箱（盘）、气瓶集装格、气瓶、氮气吹扫装置以及尾气处理设备等。目前由于各类电子产品制造工厂所用的特种气体几乎者是采用特气钢瓶输送的方式，因此一般将可燃性、毒性和腐蚀性特种气体的钢瓶设置在气瓶枯（gas cabinet）内，通过特种气体管路经由阀门箱（valve manifold box，VMB）分配至生产工艺设备用气点，而惰性特种气体一般是以开放式的气瓶架（gas rack）、阀门盘（valve manifold panel，VMP）进行供应。

（1）气瓶柜、气瓶架

①气瓶柜是特种气体使用的封闭式气瓶放置与气体输送设备，气瓶架是特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备。气瓶柜是一个金属密闭的箱体，它可以提供局部排气通风以保护特气柜防止气瓶泄漏引发着火事故，也可防止气瓶柜外的着火火焰引发和扩大火势及阻隔气瓶柜的着火扩展至周围环境，限制着火在其内部。为此气瓶柜应具备防护箱体、强制通风、安全防护措施等，以避免一旦气瓶等的着火火焰蔓延，还可将火源扑灭的功能。气瓶架是一个简单的固定特气钢瓶及其相关管道、附件的开放支架，没有防护箱体。

特种气体供应系统气瓶柜的配置方式可采用单个气瓶外置吹扫氮气（源）瓶的单瓶式、双气瓶外置吹扫氮气（源）瓶的双瓶式、双气瓶内置吹扫氮气（源）瓶的三瓶式等多种形式。不相容气体瓶严禁放置在同一气瓶柜内，以防止不相容气体在非正常状态下相遇发生反应，引发事故或着火。

气瓶柜应设置作业用气体面板，通过气体面板实现气体的供气、切断、事故紧急处理和气体监测、管理等作业。为避免特气瓶柜内气体泄漏，引发事故和伤害作业人员，所以应保持气瓶柜总是在负压下运行。气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa的负压，其排风换气次数不得低于300次/h。自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄漏探测器，以及时探测这些有害气体的泄漏情况，实时地采取相应措施，防止事故的发生。气瓶柜门应具备自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗；地脚螺栓的设计应满足当地地震烈度的要求。

当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险的环境内时，其设计应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》（GB50058）的规定。

特种气体系统的气瓶架与气瓶柜相似，也可采用单瓶式、双瓶式或三瓶式等多种形式，性质不相容的特种气体钢瓶，与气瓶柜有相同的要求——严禁放置在同一气瓶架中；特种气体气瓶架也应设置气体面板，以实现特种气体的供气、停气和事故处理等运行作业。

因为可燃性特种气体自燃、可燃和可能发生爆炸危险，所以对这类气瓶柜应设有更为严格的技术要求。硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，且气瓶柜的负压状况应进行连续监

控；自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统；自燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。

图1.9.29是特种气体气瓶柜和气瓶架的外观。

特种气体气瓶柜、气瓶架的气体面板是作业管理控制装置，应具有运行和安全所需的功能，主要的要求有：自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶；特种气体气瓶压力大于0.1MPa的自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关，当气体流量超过限定值时，发出开关信号；自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀；各种特种气体面板均应设置工艺气体排气口。