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激光图形化直写设备省去了繁琐的掩膜加工步骤,提供快速,高效和低成本光刻制程的解决方案,尤其对于有光刻Mask外协需求的用户来说,可以自制相应的Mask降低成本或提升研发速度需求;本产品采用大功率的半导体激光光源,长寿命、低功耗;用户操作界面友好灵活,支持多种版图设计格式;可以根据自身的需求,方便灵活的选用不同的投影倍率实现多种模式的曝光。
- 技术:对比于Nuflare/JEOL /ETEC/Heidelberg /Micronic等厂商的单线束描绘直写技术,苏大维格采用的无掩膜第二代面空间光调制技术:进行面空间光调制扫描技术,使用步进和高速扫描光刻扫描技术相结合,速度更快,产能更高,可应用于350nm节点大规模IC生产中的非关键层掩膜版制作和0.8µm节点器件的直写光刻。
- 灵活高效:采用无掩膜直写光刻技术,去除了繁琐的掩膜加工步骤,降低研发生产成本,缩短研发周期,具有快速、精细等曝光模式和Mask/晶圆器件制作等多种工作模式。
- 应用广泛:苏大维格的直写式光刻机以其独特的设计优势,可广泛应用于集成电路设计流片与制造、掩膜版制造、薄膜电路制造、MEMS设计流片与制造、微电子和生物芯片等领域的研发生产制造。
- 软件兼容广泛:广泛支持BMP、GDS、TDB、DXF (AutoCAD R2000)、CIF、GDS2、Gerber(可选)等多版图设计格式。
- 量身打造:根据客户需求量身打造专用功能:如智能化微环境控制模块,多种格式的数据转换等,以应对不同应用客户的需求。
- 服务专业/高效:30分钟电话响应,24小时中国大陆境内原厂工程师现场到位服务。
- 低成本维护:系统稳定高效,低故障率,部件寿命长;产品体积小巧;模块化设计,维护简便易行。
- 高性价比:优秀的直写技术,厚胶高产能、高品质的设备,优厚的价格优势。
- 易操作:采用JOB,RECIPE 的模式,建立多场景工作模式,人性化用户操作界面,简单,易操作。